[实用新型]一种太阳能电池扩散死层去除装置

权利要求书

1.一种太阳能电池扩散死层去除装置，其特征在于，包括：

用于传输硅片的传输滚轮(8)，所述传输滚轮(8)的下方沿着硅片的传输方向依次放置有刻蚀槽(1)、第一水槽(2)、HF槽(5)、第二水槽(4)、KOH槽(3)、第三水槽(6)、HCL槽(10)、第四水槽(11)、风干槽(7)；

加工时，硅片随所述传输滚轮(8)传输，依次经过所述刻蚀槽(1)、所述第一水槽(2)、所述HF槽(5)、所述第二水槽(4)、所述KOH槽(3)、所述第三水槽(6)、所述HCL槽(10)、所述第四水槽(11)及所述风干槽(7)。

2.根据权利要求1所述的太阳能电池扩散死层去除装置，其特征在于，

所述刻蚀槽(1)、所述第一水槽(2)及所述HF槽(5)上的所述传输滚轮(8)共同连接有第一齿轮箱；

所述第二水槽(4)、所述KOH槽(3)、所述第三水槽(6)、所述HCL槽(10)、所述第四水槽(11)及所述风干槽(7)上的所述传输滚轮(8)共同连接有第二齿轮箱。

3.根据权利要求2所述的太阳能电池扩散死层去除装置，其特征在于，

所述第一齿轮箱与所述第二齿轮箱独立运行，且所述第二齿轮箱的转速大于所述第一齿轮箱转速。

4.根据权利要求2或3所述的太阳能电池扩散死层去除装置，其特征在于，

所述第一齿轮箱对应的所述传输滚轮(8)的传输速度为1.6～2.2m/min。

5.根据权利要求4所述的太阳能电池扩散死层去除装置，其特征在于，

所述第一齿轮箱对应的所述传输滚轮(8)的传输速度为1.8m/min。

6.根据权利要求2或3所述的太阳能电池扩散死层去除装置，其特征在于，

所述第二齿轮箱对应的所述传输滚轮(8)的传输速度为2.0～2.4m/min。

7.根据权利要求6所述的太阳能电池扩散死层去除装置，其特征在于，

所述第二齿轮箱对应的所述传输滚轮(8)的传输速度为2.2m/min。

8.根据权利要求1所述的太阳能电池扩散死层去除装置，其特征在于，

所述HF槽(5)的长度为2.2～3.5m。

9.根据权利要求8所述的太阳能电池扩散死层去除装置，其特征在于，

所述HF槽(5)的长度为3m。

10.根据权利要求1、8或9所述的太阳能电池扩散死层去除装置，其特征在于，

所述第一水槽(2)、所述第二水槽(4)、所述KOH槽(3)、所述第三水槽(6)、所述HCL槽(10)和所述第四水槽(11)的上方的所述传输滚轮(8)的上方均设置有喷淋管(9)；

所述HF槽(5)上的所述传输滚轮(8)传输时浸没在所述HF槽(5)中的HF溶液中。