[实用新型]用于斜面聚合物减少的边缘环有效
| 申请号： | 201620320137.X | 申请日： | 2016-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN205984889U | 公开（公告）日： | 2017-02-22 |
| 发明（设计）人： | R·米什拉;G·J·斯科特;K·M·西拉朱迪茵;S·L·图西巴格威尔;S·西卢纳乌卡拉苏 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01J37/02 | 分类号： | H01J37/02 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司31100 | 代理人： | 黄嵩泉 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 斜面 聚合物 减少 边缘 | ||
【说明书】：
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