[实用新型]三轴MEMS惯性传感器系统级封装单元结构有效
| 申请号： | 201620281114.2 | 申请日： | 2016-04-05 |
| 公开（公告）号： | CN205898145U | 公开（公告）日： | 2017-01-18 |
| 发明（设计）人： | 孙函子;庄永河;尚玉凤;李鸿高;李林森;童洋;王宁;周婷;沈时俊 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十三研究所 |
| 主分类号： | G01C21/16 | 分类号： | G01C21/16 |
| 代理公司： | 合肥天明专利事务所34115 | 代理人： | 金凯 |
| 地址： | 230088 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | mems 惯性 传感器 系统 封装 单元 结构 | ||
【权利要求书】：
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