[实用新型]一种位移测量装置

权利要求书

1.一种位移测量装置，其特征在于，包括至少一个压差式静力水准仪(1)；

所述压差式静力水准仪(1)包括安装底座(11)、固定在所述安装底座(11)上且设有进水口(121)和出水口(122)的外壳(12)、设置在所述外壳(12)内部的腔体(13)以及具有通孔(a)的扩散硅压力传感器(14)；

所述腔体(13)包括通过管道与所述进水口(121)连通的第一开口(131)、通过管道与所述出水口(122)连通的第二开口(132)以及与所述通孔(a)连通的第三开口(133)；

所述扩散硅压力传感器(14)的内部通过空心管与外界大气连通，且其通过电缆线(2)与外界设备连接。

2.根据权利要求1所述的位移测量装置，其特征在于，所述扩散硅压力传感器(14)包括具有第一端(b)和第二端(c)的壳体(141)以及由第一端(b)至第二端(c)方向依次设置在所述壳体(141)内部的感应膜片(142)、硅油层(143)、扩散硅晶体(144)和信号转换电路(145)，所述通孔(a)设置在所述第一端(b)上；

在垂直于第一端(b)至第二端(c)方向的平面上，所述感应膜片(142)的横截面与所述壳体(141)内腔的横截面相同；

所述空心管的一端连接所述壳体(141)的内部，另一端与大气连通；所述电缆线(2)的一端连接所述信号转换电路(145)，另一端连接外界设备。

3.根据权利要求2所述的位移测量装置，其特征在于，所述扩散硅压力传感器(14)与所述腔体(13)的连接处设有密封部件。

4.根据权利要求3所述的位移测量装置，其特征在于，所述安装底座(11)和所述壳体(141)的材质均为不锈钢；所述密封部件为密封垫片或密封圈；所述信号转换电路(145)为4-20mA两线制发送器芯片XTR101；所述电缆线(2)为二芯屏蔽电缆线。

5.根据权利要求1-4任意一项所述的位移测量装置，其特征在于，还包括两个水箱(3)，所述压差式静力水准仪(1)的数量至少为2个；

第一个所述压差式静力水准仪(1)的进水口(121)通过水管与第一个所述水箱(3)连通；

后一个所述压差式静力水准仪(1)的进水口(121)通过水管与前一个所述压差式静力水准仪(1)的出水口(122)连通；

最后一个所述压差式静力水准仪(1)的出水口(122)通过水管与第二个所述水箱(3)连通。

6.根据权利要求5所述的位移测量装置，其特征在于，所述外界设备为PLC控制器。