[实用新型]纳米压印软模板制备装置有效
| 申请号： | 201620054145.4 | 申请日： | 2016-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN205353570U | 公开（公告）日： | 2016-06-29 |
| 发明（设计）人： | 宋崇顺;史晓华 | 申请（专利权）人： | 苏州光越微纳科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 | 代理人： | 靳苗静 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市苏州工*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 纳米 压印 模板 制备 装置 | ||
【权利要求书】：
1.纳米压印软模板制备装置，其特征在于，包括：
基座，其上开设有作为内圈的第一圆周槽，以及套于所述第一圆周槽外部的作为外圈的第二圆周槽；
模板，其放置于所述基座上并位于所述第一圆周槽内；
密封圈，其嵌设于所述第一圆周槽内且具有延伸至所述模板的表面的第一凸沿；
压圈，其嵌设于所述第二圆周槽内且具有延伸至所述密封圈的表面的第二凸沿，所述压圈由驱动单元驱动沿着垂直方向进行升降。
2.根据权利要求1所述的纳米压印软模板制备装置，其特征在于，所述第一圆周槽的槽深小于所述第二圆周槽的槽深。
3.根据权利要求1所述的纳米压印软模板制备装置，其特征在于，所述驱动单元包括电机和导柱，所述电机的输出轴连接所述压圈，所述导柱穿设于所述压圈内。
4.根据权利要求1所述的纳米压印软模板制备装置，其特征在于，所述驱动单元包括气缸和导柱，所述气缸的输出轴连接所述压圈，所述导柱穿设于所述压圈内。
5.根据权利要求1所述的纳米压印软模板制备装置，其特征在于，所述压圈与所述密封圈的接触面为齿面配合。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州光越微纳科技有限公司，未经苏州光越微纳科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201620054145.4/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：定影装置及图像形成装置
- 下一篇：液晶显示装置
