[实用新型]一种新型太阳能多晶硅片夹具有效
| 申请号: | 201620041514.6 | 申请日: | 2016-01-15 |
| 公开(公告)号: | CN205355029U | 公开(公告)日: | 2016-06-29 |
| 发明(设计)人: | 刘凯波;刘权 | 申请(专利权)人: | 温州冠天科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 325036 浙江省温*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 新型 太阳能 多晶 硅片 夹具 | ||
技术领域
本实用新型涉及太阳能晶片设备技术领域,具体涉及一种新型太阳能多晶硅片夹具。
背景技术
现在随着科技的发展,使得在一些装置上常常会用到太阳能多晶硅片,由于多晶硅片能够在极小的面积上,集成数千万的晶体管,工程精细极高,特别是在现在的微电子技术领域,航空航天、工业、农业以及商业上也被广泛应用。
对于现在生产太阳能多晶硅片的方法中,常常需要对多晶硅片在生产时进行转移进行进一步加工,但是洗浴现在转移多晶硅片的夹具过于粗糙,仅仅是通过机械的夹持件进行夹持转移,这样会对多晶硅片的内部结构造成进一步的损害,损坏率高,不仅会增加成本,还会使得制备的工期受到影响。
实用新型内容
针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种新型太阳能多晶硅片夹具,在生产加工时,通过真空吸盘结构对多晶硅片继续拧夹持转移,能够有效的夹持多晶硅片,操作简单,使用方便。
为实现以上目的,本实用新型通过以下技术方案予以实现:
一种新型太阳能多晶硅片夹具,包括夹持件本体、吸盘、吸气本体和活动杆,所述的夹持件本体内为空心,所述的吸盘结构安装在夹持件本体的中心,并通过连接管与吸气本体,所述的吸盘与吸气本体之间还设有承压弹簧,所述的夹持件本体空心侧壁设有装置的活动杆,所述的活动杆前端设置与夹持件本体空心内,且在活动杆前端设置有防滑垫。
优选地,所述的活动杆设置为2个。
优选地,所述的活动杆与防滑垫可拆卸连接。
优选地,所述的活动杆设有限位块。
本实用新型提供了一种新型太阳能多晶硅片夹具,通过设置的吸盘结构能够有效的将加工时的多晶硅片进行接触黏吸,防止了普通机械夹持件会对多晶硅片夹持造成多晶硅片的损坏。整个装置设计合理,操作简单,可进一步推广应用。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1本实用新型的整体结构示意图;
图2本实用新型的俯视结构示意图;
其中:1、夹持件本体;2、吸盘;3、连接管;4、吸气本体;5、活动杆;501、防滑垫;502、限位块。
具体实施方式
为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
如图1、图2所示,本实施例提供一种新型太阳能多晶硅片夹具,包括夹持件本体1、吸盘2、吸气本体4和活动杆5,夹持件本体1内为空心结构,吸盘2安装在夹持件本体1的中心位置,并通过连接管3与吸气本体4,吸盘2与吸气本体4之间还设有承压弹簧301,在挤压时候能够有效的起到缓冲作用,通过将吸气本体4进行上、下活动,将送至夹持件本体1空心内的多晶硅片通过吸盘2相接触,再通过吸气本体4吸气就可实现与吸盘2稳定连接,不易掉落,夹持件本体1空心侧壁设有装置的活动杆5,活动杆5前端设置与夹持件本体1空心内,且在活动杆5前端设置有防滑垫501,能够有效将运送的多晶硅片摆正,便于吸盘2进行黏吸固定。
活动杆5设置为2个,左右相对设置,简单方便;活动杆5与防滑垫501可拆卸连接,方便对防滑垫501进行拆卸维修,活动杆5设有限位块502,可对不同规格大小的太阳能多晶硅片进行调节操作,方便固定。
以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案,而非对其限制;尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明,本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换;而这些修改或者替换,并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





