[发明专利]低成本的硅片切割方法

说明书

技术领域

本发明涉及硅片切割技术领域，具体为一种低成本的硅片切割方法。

背景技术

现有的硅片切割工艺中，由于砂浆消耗量大，大多数企业采用回收砂浆重新利用的方式以节约成本，砂浆回收的基本原理为：利用离心机对废砂浆进行固液分离，分离后的液相主要是包含有大多数小颗粒和切割液的脏液，固相为可以继续使用的大颗粒碳化硅。利用压滤机对液相进行进一步处理，将小颗粒与切割液完全分离，获得能够继续使用的切割液。然后将回收的大颗粒碳化硅和切割液结合一定量的新砂新切割液混合配置，制成具有切割能力的成品砂浆继续使用，往复进行。

现有的硅片切割工艺一般包括以下步骤：

1.切割机利用成品砂浆对硅棒进行切割，切割完成，下料至脱胶机。

2.脱胶机进行预清洗和脱胶，步骤包括：

(1)脱胶机1号、2号槽使用自来水对晶棒进行喷淋预清洗；

(2)脱胶机3号槽自来水超声清洗；

(3)脱胶机4号槽乳酸脱胶。

(4)下料至清洗机

3.清洗机进行插片清洗，步骤包括：

(1)清洗机1号槽柠檬酸超声清洗；

(2)清洗机2号槽、3号槽自来水溢流超声漂洗；

(3)清洗机4号槽、5号槽药剂超声清洗；

(4)清洗机6号槽、7号槽、8号槽、9号槽纯水溢流漂洗。

(5)下料至分选台；

4.分选台分选检验后包装出货。

其中，步骤1中的成品砂浆由新砂浆和在线砂浆配置而成，具体配置方法为：

(1)新砂浆配置：

新砂和回收砂按照9:1的比例配置成砂，新切割液和回收切割液按照5:5的比例配置成切割液；

将砂、切割液按照1:1的比例配置成密度为1.660-1.670kg/L的悬浊液，搅拌8小时后进行密度监控，符合新砂浆标准(如表1)后用于成品砂浆配置。

表1新砂浆标准

(2)在线砂浆配置：

将切割产生的废砂浆密度稀释至1.5-1.6kg/L，然后用离心机将其分离为一次重液和一次轻液。再用压滤机对一次轻液进行压滤，产生在线回收切割液；

将在线回收切割液加入一次重液中加入进行调和，将一次重液的密度调整至1.55-1.6kg/L，然后再用离心机将一次重液分离为二次重液和二次轻液。用压滤机对二次轻液进行压滤，产生在线回收切割液。将在线回收切割液加入二次重液中进行调和，将二次重液的密度调整至1.680-1.685kg/L，即为在线砂浆。

(3)成品砂浆配置：

将配置完成的新砂浆和在线砂浆按照2:8的比例混合为成品砂浆，搅拌2小时后进行密度监控，符合成品砂浆标准(如表2)后用于切割。

表2成品砂浆标准

上述工艺步骤中存在以下缺陷：

1.成品砂浆配置中新砂、新切割液使用比例高，新砂比例为90％，新切割液比例为50％，生产成本高；

2.脱胶机喷淋用自来水使用量大，生产成本高，浪费水资源。

3.清洗机漂洗使用水量大，清洗机2号槽、3号槽自来水溢流漂洗，6号槽、7号槽、8号槽、9号槽纯水溢流漂洗，生产成本高，浪费水资源。

发明内容

针对现有技术中的问题，本发明提供一种低成本的硅片切割方法。

为实现以上技术目的，本发明的技术方案是：一种低成本的硅片切割方法，其步骤包括：

A.切割机利用成品砂浆对硅棒进行切割，切割完成，下料至脱胶机。

B.脱胶机自来水喷淋预清洗；

C.脱胶机自来水超声清洗；

D.脱胶机乳酸脱胶，下料至清洗机；

E.清洗机柠檬酸超声清洗；

F.清洗机自来水溢流超声漂洗；

G.清洗机药剂超声清洗；

H.清洗机纯水溢流漂洗，下料至分选台；

I.分选台分选检验后包装出货。

所述步骤A中成品砂浆的配置方法为：

a.新砂浆配置：

新砂和回收砂按照6:4的比例配置成砂，新切割液和回收切割液按照1:9的比例配置成切割液；

将砂、切割液按照1:1的比例配置成密度为1.660-1.670kg/L的悬浊液，搅拌8小时后进行密度监控，符合新砂浆标准后用于成品砂浆配置，新砂浆标准如下：

D50值：9.40-12.00；

小颗粒累计(0-5.13um)：＜5％；