[发明专利]低成本的硅片切割方法

权利要求书

1.一种低成本的硅片切割方法，其步骤包括：

A.切割机利用成品砂浆对硅棒进行切割，切割完成，下料至脱胶机。

B.脱胶机自来水喷淋预清洗；

C.脱胶机自来水超声清洗；

D.脱胶机乳酸脱胶，下料至清洗机；

E.清洗机柠檬酸超声清洗；

F.清洗机自来水溢流超声漂洗；

G.清洗机药剂超声清洗；

H.清洗机纯水溢流漂洗，下料至分选台；

I.分选台分选检验后包装出货。

所述步骤A中成品砂浆的配置方法为：

a.新砂浆配置：

新砂和回收砂按照6:4的比例配置成砂，新切割液和回收切割液按照1:9的比例配置成切割液；

将砂、切割液按照1:1的比例配置成密度为1.660-1.670kg/L的悬浊液，搅拌8小时后进行密度监控，符合新砂浆标准后用于成品砂浆配置，新砂浆标准如下：

D50值：9.40-12.00；

小颗粒累计(0-5.13um)：＜5％；

粒径集中累计(7.50-13.31um)：≥80；

最大颗粒(19.50um)：＜0.15％；

PH值25℃：5.0-7.5；

电导率(us/cm)：＜30；

粘度(mPa·s)：240-320；

比重25℃(kg/L)：1.665-1.670；

含水率：≤0.5％。

b.在线砂浆配置：

将切割产生的废砂浆用切割液稀释至1.5-1.6kg/L。然后将稀释好的废砂浆用离心机分离为一次重液和一次轻液。再用压滤机对一次轻液进行压滤，产生在线回收切割液；

将在线回收切割液加入一次重液中加入进行调和，将一次重液的密度调整至1.55-1.6kg/L，然后再用离心机将一次重液分离为二次重液和二次轻液。用压滤机对二次轻液进行压滤，产生在线回收切割液。将在线回收切割液加入二次重液中进行调和，将二次重液的密度调整至1.680-1.685kg/L，即为在线砂浆。

c.成品砂浆配置：

将配置完成的新砂浆和在线砂浆按照2:8的比例混合为成品砂浆，搅拌2小时后进行密度监控，符合成品砂浆标准后用于切割，成品砂浆标准如下：

D50值：8.65-9.40；

小颗粒累计(0-5.13um)：＜6％；

粒径集中累计(7.50-13.31um)：≥80；

最大颗粒(19.50um)：＜0.2％；

PH值25℃：5.0-7.5；

电导率(us/cm)：＜30；

粘度(mPa·s)：200-280；

比重25℃(kg/L)：1.675-1.680；

含水率：≤0.8％。

2.根据权利要求1所述的低成本的硅片切割方法，其特征在于：所述步骤A中的成品砂浆还添加有分散剂。

3.根据权利要求1所述的低成本的硅片切割方法，其特征在于：所述步骤B中产生的废水经压滤机压滤处理后重新用于步骤B。

4.根据权利要求1所述的低成本的硅片切割方法，其特征在于：所述步骤F中产生的废水经压滤机压滤处理后重新用于步骤B。

5.根据权利要求1所述的低成本的硅片切割方法，其特征在于：所述步骤H中产生的废水用于步骤F。