[发明专利]一种快速判断气相沉积产品质量缺陷发生时间的方法

权利要求书

1.一种快速判断气相沉积产品质量缺陷发生时间的方法，其特征在于，其包括如下步骤：(1)确定样品沉积速率方程；(2)确定一般气相沉积反应的速率方程；(3)积分得到气相沉积厚度方程；(4)求得未知修正比例系数a；(5)解得质量缺陷发生时间；其中，

(1)确定样品沉积速率方程：通过对整个生产周期的沉积速率进行计算，得到生产周期内每小时所述沉积速率的数据后，应根据所述沉积速率绘制出产品的沉积速率曲线，通过数据处理软件对所述沉积速率曲线进行拟合，可以得到检测样品的所述沉积速率随时间变化的样品沉积速率方程，设所述样品沉积速率方程为y＝f(t)；

(2)确定一般气相沉积反应的速率方程：同一企业，气相沉积反应设备虽然型号相同，但因所述气相沉积反应设备表面反射率、仪表检测的差异，每台所述气相沉积反应设备在相同的时间内沉积速度有微小的不同，但通过实践检验，所述气相沉积反应设备情况的影响对整个沉积过程的影响均相似，引入所述气相沉积反应设备对沉积过程影响的修正比例系数a，得出一般气相沉积反应速率方程y＝f(at)；

(3)积分得到气相沉积厚度方程：对所述一般气相沉积反应速率方程y＝f(at)进行积分，即为气相沉积厚度方程对积分式进行求解，可解得包含未知常量a的沉积厚度h随变量时间t变化的气相沉积厚度方程；

(4)求得未知修正比例系数a：测量沉积总厚度h_总，并将测得的所述沉积总厚度h_总和沉积总时间t_总代入所述气相沉积厚度方程中求解，解得未知修正比例系数a；

(5)解得质量缺陷发生时间：通过对气相沉积产品截面进行质量检测，锁定质量缺陷点的位置，然后测量质量缺陷点处沉积厚度h_缺陷，将质量缺陷点处的所述沉积厚度h_缺陷及所述修正比例系数a代入所述气相沉积厚度方程，对等式进行求解，即可解得质量缺陷发生时间t_缺陷。

2.根据权利要求1所述的一种快速判断气相沉积产品质量缺陷发生时间的方法，其特征在于，所述数据处理软件为origin软件。

3.根据权利要求1或2所述的一种快速判断气相沉积产品质量缺陷发生时间的方法，其特征在于，在所述步骤(5)之后还包括有对求得的所述质量缺陷发生时间t_缺陷的验证步骤，重复所述步骤(5)，对经历质量缺陷发生时间的不同样品进行检测计算，求得不同样品的所述质量缺陷发生时间t_缺陷，并对求得的所述质量缺陷发生时间t_缺陷进行比较，当不同样品计算出的所述质量缺陷发生时间t_缺陷接近时，即可确定所述步骤(5)计算得到的所述质量缺陷发生时间t_缺陷真实准确。