[发明专利]具有吸尘功能的晶片研磨设备

权利要求书

1.一种具有吸尘功能的晶片研磨设备，包括用于支撑研磨设备的基台、用于固定晶片的晶片托台、用于支撑所述晶片托台的工作台、位于所述工作台上方的研磨机构和位于所述研磨机构上方的加压机构，所述工作台内部设置有空腔，所述研磨机构包括研磨头、固定所述研磨头的连接件和设置在研磨头上方的驱动电机；所述工作台内部设置有第一驱动机构，所述第一驱动机构包括电机和传动结构，所述传动结构包括输出齿轮、调速齿轮和从动齿轮，所述输出齿轮与所述电机的输出轴连接，所述调速齿轮与所述输出齿轮啮合，所述调速齿轮与所述从动齿轮同轴连接，所述调速齿轮与所述从动齿轮均设置在转轴上，其特征在于，所述工作台表面设置有连通工作台内部的第一通孔，所述转轴穿过通孔用于支撑所述晶片托台，在所述晶片托台和所述从动齿轮之间的转轴上设置有扇叶，所述工作台下方连接有油箱，所述工作台底部设置有连通所述油箱的第二通孔，所述油箱连接有输油管，所述输油管的出油口设置在第一通孔处；所述晶片托台上设置气孔。

2.根据权利要求1所述的具有吸尘功能的晶片研磨设备，其特征在于，所述从动齿轮分别啮合有第二从动齿轮和第三从动齿轮，所述第二从动齿轮和第三从动齿轮分别同轴连接有第二转轴和第三转轴，所述第二转轴和第三转轴的上端穿过所述工作台的第一通孔后，分别连接有所述晶片托台，所述第二转轴和第三转轴上均固设有所述扇叶。

3.根据权利要求1所述的具有吸尘功能的晶片研磨设备，其特征在于，所述连接件包括活动支架和支臂，支臂的一端固定连接于活动支架上，所述研磨头分布设置在所述支臂上，所述研磨头的覆盖范围小于晶片表面。

4.根据权利要求1所述的具有吸尘功能的晶片研磨设备，其特征在于，所述工作台还包括第二驱动机构，所述第二驱动机构位于所述工作台的底部，所述第二驱动机构包括用以驱动所述工作台产生径向往复运动的第一丝杠和用以驱动所述工作台产生前后往复运动的第二丝杠。

5.根据权利要求1所述的具有吸尘功能的晶片研磨设备，其特征在于，所述加压机构采用气压装置。