[发明专利]一种基于单读数头的圆光栅安装误差标定与修正方法在审
申请号: | 201611232356.3 | 申请日: | 2016-12-28 |
公开(公告)号: | CN106871821A | 公开(公告)日: | 2017-06-20 |
发明(设计)人: | 杨帅;王东鹤;唐伯浩;张涛 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | G01B11/26 | 分类号: | G01B11/26 |
代理公司: | 长春菁华专利商标代理事务所(普通合伙)22210 | 代理人: | 南小平 |
地址: | 130033 吉*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基于 读数 圆光 安装 误差 标定 修正 方法 | ||
1.一种基于单读数头的圆光栅安装误差标定与修正方法,其特征在于,包括以下步骤:
步骤1、在安装圆光栅时,使用千分表保证安装的偏心量、径跳和端跳在10μm以内,并精确测量偏心量、径跳、端跳以便分析数据标定和误差修正合理性;
步骤2、使用工装将金属多面体安装于旋转部件上,使金属多面体与旋转部件同步运动;
步骤3、使用高精度自准直仪对准金属多面体的任意一个面,并调整旋转部件,使高精度自准直仪成像在夹线之间,此时高精度自准直仪读出误差应在“±0.1”之间,记录误差为e1;
步骤4、调整旋转部件,若金属多面体面的个数为m,调整角度值应为(360°/m)°,而后读取高精度自准直仪测量误差,记录为em;
步骤5、重复步骤4直至旋转一周,在m个面下得到m个测量误差;
步骤6、使用最小二乘法多项式曲线拟合的方式,将每个测量范围内的测量误差平均分配,即得到单个区域内的修正公式,从而得到圆光栅0°~360°范围内分段的误差修正公式;
步骤7、通过圆光栅读数头获取的测角值,根据步骤6得到的误差修正公式计算误差量,实时对测量数据进行修正。
2.根据权利要求1所述的基于单读数头的圆光栅安装误差标定与修正方法,其特征在于,步骤6具体实施方案为:
根据最小二乘法分段拟合误差曲线模型,其公式如下:
其中:δ为误差偏差平方和,ej为误差测量值,为最小二乘法分段拟合的误差曲线方程,i为当前拟合段的序号,j为参与拟合的点序号;
选择任意连续的六点误差数据,根据公式(1)拟合最小二乘法曲线,得到对应多项式曲线方程,该方程用于标定这六点中最中间两个点之间的误差数据,以此类推,计算所有m段误差方程。
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