[发明专利]一种阵列基板在审
申请号: | 201611204904.1 | 申请日: | 2016-12-23 |
公开(公告)号: | CN106597723A | 公开(公告)日: | 2017-04-26 |
发明(设计)人: | 王聪;廖作敏 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G02F1/1333 | 分类号: | G02F1/1333;G02F1/1339;G02F1/1345 |
代理公司: | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司44304 | 代理人: | 孙伟峰,侯艺 |
地址: | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 阵列 | ||
1.一种阵列基板,从下至上包括:玻璃基板、缓冲层以及
驱动电路,其包括栅极驱动区以及设于所述栅极驱动区外围的接地电路区;所述驱动电路表面从下至上依次覆盖有平坦层和钝化层;其特征在于,
所述栅极驱动区所对应的平坦层上开设有若干个凹槽。
2.根据权利要求1所述阵列基板,其特征在于,相邻两个所述凹槽之间呈错位排列。
3.根据权利要求1所述阵列基板,其特征在于,所述栅极驱动区从下至上依次包括半导体层、栅极绝缘层、栅极层、层间隔离层、源漏极层。
4.根据权利要求1所述阵列基板,其特征在于,所述栅极驱动区外围、避开所述接地电路区还设有若干个阻挡墙,用于防止液晶配向液的回流。
5.根据权利要求4所述阵列基板,其特征在于,所述阻挡墙从下至上依次包括半导体层、栅极绝缘层、栅极层、层间隔离层、接触层和钝化层。
6.根据权利要求4或5所述阵列基板,其特征在于,相邻两个所述阻挡墙之间呈错位排列。
7.一种如权利要求1~3任一项所述阵列基板的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:
依次在玻璃基板上形成缓冲层、半导体层、栅极绝缘层、栅极层、层间隔离层、源漏极层以及平坦层、钝化层;在所述玻璃基板上组成栅极驱动区和接地电路区;
在所述栅极驱动区对应的平坦层上、避开所述接地电路区开设若干个凹槽。
8.一种如权利要求1~6任一项所述阵列基板的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:
依次在玻璃基板上形成缓冲层、半导体层、栅极绝缘层、栅极层、层间隔离层、源漏极层以及平坦层、钝化层;在所述玻璃基板上组成栅极驱动区、接地电路区以及阻挡墙;所述阻挡墙避开所述栅极驱动区、所述接地电路区设置;
在所述栅极驱动区对应的平坦层上、避开所述接地电路区开设若干个凹槽,相邻两个所述凹槽之间呈错位排列。
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