[发明专利]一种阵列基板在审

专利信息
申请号: 201611204904.1 申请日: 2016-12-23
公开(公告)号: CN106597723A 公开(公告)日: 2017-04-26
发明(设计)人: 王聪;廖作敏 申请(专利权)人: 武汉华星光电技术有限公司
主分类号: G02F1/1333 分类号: G02F1/1333;G02F1/1339;G02F1/1345
代理公司: 深圳市铭粤知识产权代理有限公司44304 代理人: 孙伟峰,侯艺
地址: 430070 湖北省武汉市*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 一种 阵列
【权利要求书】:

1.一种阵列基板,从下至上包括:玻璃基板、缓冲层以及

驱动电路,其包括栅极驱动区以及设于所述栅极驱动区外围的接地电路区;所述驱动电路表面从下至上依次覆盖有平坦层和钝化层;其特征在于,

所述栅极驱动区所对应的平坦层上开设有若干个凹槽。

2.根据权利要求1所述阵列基板,其特征在于,相邻两个所述凹槽之间呈错位排列。

3.根据权利要求1所述阵列基板,其特征在于,所述栅极驱动区从下至上依次包括半导体层、栅极绝缘层、栅极层、层间隔离层、源漏极层。

4.根据权利要求1所述阵列基板,其特征在于,所述栅极驱动区外围、避开所述接地电路区还设有若干个阻挡墙,用于防止液晶配向液的回流。

5.根据权利要求4所述阵列基板,其特征在于,所述阻挡墙从下至上依次包括半导体层、栅极绝缘层、栅极层、层间隔离层、接触层和钝化层。

6.根据权利要求4或5所述阵列基板,其特征在于,相邻两个所述阻挡墙之间呈错位排列。

7.一种如权利要求1~3任一项所述阵列基板的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:

依次在玻璃基板上形成缓冲层、半导体层、栅极绝缘层、栅极层、层间隔离层、源漏极层以及平坦层、钝化层;在所述玻璃基板上组成栅极驱动区和接地电路区;

在所述栅极驱动区对应的平坦层上、避开所述接地电路区开设若干个凹槽。

8.一种如权利要求1~6任一项所述阵列基板的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:

依次在玻璃基板上形成缓冲层、半导体层、栅极绝缘层、栅极层、层间隔离层、源漏极层以及平坦层、钝化层;在所述玻璃基板上组成栅极驱动区、接地电路区以及阻挡墙;所述阻挡墙避开所述栅极驱动区、所述接地电路区设置;

在所述栅极驱动区对应的平坦层上、避开所述接地电路区开设若干个凹槽,相邻两个所述凹槽之间呈错位排列。

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