[发明专利]压力传感器的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及压力传感器的制造方法。

背景技术

已知具有安装于被安装部件的接头、以及设于接头的压力检测元件的压力传感器。

构成压力传感器的接头和压力检测元件通过焊接而相互接合(文献1：日本特许3556165号公报)。

压力检测元件是称为传感器模块的元件，在文献1中，使压力检测元件为金属制膜片一体于析出硬化类不锈钢制的筒状支撑台的上表面的构成，并将筒状支撑台和金属制的接头射束焊接。

一直以来，为了制造传感器模块，有时进行加热处理。

例如，存在使用既定的合金通过冷加工对金属制膜片的本体进行成形，并将该本体加热到400℃以上且利用化学蒸镀法形成绝缘膜的压力传感器(文献2：日本特许3084304号公报)。

而且，存在在析出硬化型不锈钢的未硬化状态下进行锻造加工等以对中间成形体进行成形，并对该中间成形体进行加热处理而形成的压力传感器用膜片(文献3：日本特许3688063号公报)。文献3的加热处理由用于释放在锻造加工等中产生的加工应变的再固溶化处理、和在再固溶化处理后的冷却后实施以用于消除加工应变的析出硬化处理构成。

在将进行了热处理的两个金属部件焊接的情况下，焊接部及其周围的热处理的效果被初始化，与其他母材部位相比强度、硬度低。因此，若大的压力施加于焊接的金属部件，则在强度、硬度低的焊接部及其周围产生裂纹、破坏。

在文献1的现有例中，由于将析出硬化类不锈钢制的筒状支撑台和金属制的接头射束焊接，故筒状支撑台和接头的焊接部为脆弱部。即使压力施加于焊接部，由于与使用的压力范围对应地选定材料、钻研焊接方法，故在通常的压力范围下是没有问题的。但是，最近，市场所要求的压力范围变得极高，若将文献1所示的压力传感器用在高耐压范围下，则存在焊接部及其周围裂开的风险。

在文献2中，仅公开了对金属制膜片的本体进行成形，并将该本体加热至400℃以上的构成，对本体和接头的接合没有公开。根据引用文献2，虽然能够设想将加热的金属制膜片的本体焊接于接头，但与文献1同样，在用在高耐压范围下的情况下，存在焊接部及其周围裂开的风险。

在文献3中，仅公开了对中间成形体进行由再固溶化处理和析出硬化处理构成的加热处理的构成，未公开将进行了该加热处理的压力传感器用膜片接合于接头的构成。根据引用文献3，虽然能够设想将加热处理的压力传感器用膜片焊接于接头，但与文献1同样，在用在高耐压范围下的情况下，存在焊接部及其周围裂开的风险。

发明内容

本发明的目的是提供即使施加较高的压力，也能够防止焊接部及其周围裂开的压力传感器的制造方法。

本发明的压力传感器的制造方法是制造如下压力传感器的方法，所述压力传感器具备金属制的接头和传感器模块用金属部件，所述接头安装于被安装部件且形成有供被测定流体流通的导入孔，所述传感器模块用金属部件具有设于所述接头的筒状部及在所述筒状部的一端部一体形成的膜片部，且形成有被通过所述导入孔导入被测定流体的凹部，其特征在于，将所述接头和所述传感器模块用金属部件焊接，之后，对所述接头和所述传感器模块用金属部件进行加热处理。

在本发明中，由于在将接头和传感器模块用金属部件焊接之后进行加热，故焊接部及其周围的强度提高。焊接部及其周围的硬度通过加热而变高，接近其他部位的硬度。因此，即使被导入传感器模块用金属部件的被测定流体的压力高，也能够防止从传感器模块用金属部件和接头的焊接部及其周围开裂的情况。

在本发明中，优选为在对所述接头和所述传感器模块用金属部件进行加热处理之后，对所述传感器模块用金属部件的膜片部粘贴具有应变计的检测部的构成。

在该构成中，在对传感器模块用金属部件进行加热处理之后，在膜片部粘贴具有应变计的检测部，因而能够避免应变计自身被加热所伴随的测定误差。

在本发明中，优选为所述加热处理为在将所述接头和所述传感器模块用金属部件焊接之后加热冷却以使其析出硬化的析出硬化处理的构成。

在该构成中，焊接后的加热处理只有析出硬化处理，因而制造工序得到简化。

在本发明中，优选为所述加热处理具备用于使因焊接而粗大化的组织均等化的再固溶化处理、以及在所述再固溶化处理之后加热冷却以析出硬化，从而提高焊接部及其周围的强度的析出硬化处理的构成。

在该构成中，通过连续进行再固溶化处理和析出硬化处理，焊接部及其周围的硬度变得与其他部位的硬度大致相同。

附图说明

图1是在本发明的一个实施方式中制造的压力传感器的侧视图。