[发明专利]压力传感器的制造方法在审
申请号: | 201611190529.X | 申请日: | 2016-12-21 |
公开(公告)号: | CN107014548A | 公开(公告)日: | 2017-08-04 |
发明(设计)人: | 山岸信贵;山下直树 | 申请(专利权)人: | 长野计器株式会社 |
主分类号: | G01L7/08 | 分类号: | G01L7/08 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人: | 严志军,刘林华 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 压力传感器 制造 方法 | ||
1.一种压力传感器的制造方法,
所述压力传感器具备金属制的接头和传感器模块用金属部件,所述接头安装于被安装部件且形成有供被测定流体流通的导入孔,所述传感器模块用金属部件具有设于所述接头的筒状部及在所述筒状部的一端部一体形成的膜片部,且形成有被通过所述导入孔导入被测定流体的凹部,其特征在于,
将所述接头和所述传感器模块用金属部件焊接,之后,对所述接头和所述传感器模块用金属部件进行加热处理。
2.根据权利要求1所述的压力传感器的制造方法,其特征在于,
在对所述接头和所述传感器模块用金属部件进行加热处理之后,在所述传感器模块用金属部件的膜片部粘贴具有应变计的检测部。
3.根据权利要求1或权利要求2所述的压力传感器的制造方法,其特征在于,
所述加热处理是在将所述接头和所述传感器模块用金属部件焊接之后加热冷却以使其析出硬化的析出硬化处理。
4.根据权利要求1或权利要求2所述的压力传感器的制造方法,其特征在于,
所述加热处理具备再固溶化处理、以及在所述再固溶化处理之后加热冷却以使其析出硬化的析出硬化处理。
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