[发明专利]基板清洗设备

权利要求书

1.一种基板清洗设备，其特征在于，包括机架(30)、位于所述机架(30)上方的护罩(40)、传送机构(10)、及喷淋机构(20)；所述护罩(40)用于提供基板清洗空间，所述传送机构(10)用于承载并运送基板(50)，所述喷淋机构(20)用于向基板(50)喷淋清洗液；

所述传送机构(10)包括并列设置的数个导辊(105)，且所述数个导辊(105)中至少有一个为海绵刷导辊(101)，其他的为传送导辊(102)；

每一海绵刷导辊(101)的上方相对设有一个第一压制辊(103)。

2.如权利要求1所述的基板清洗设备，其特征在于，所述数个导辊(105)中，所有海绵刷导辊(101)之间的传送导辊(102)、及两侧的部分传送导辊(102)构成一海绵刷传送区，所述海绵刷传送区内每一传送导辊(102)的上方相对设有一个第二压制辊(104)。

3.如权利要求1所述的基板清洗设备，其特征在于，每一海绵刷导辊(101)的两端分别设有操作模块(111)、及驱动模块(112)；所述驱动模块(112)包括第一马达，每一海绵刷导辊(101)及每一第一压制辊(103)在相应的第一马达驱动下进行转动。

4.如权利要求3所述的基板清洗设备，其特征在于，每一海绵刷导辊(101)下方对应设有两个平衡杆(113)，所述平衡杆(113)的两端分别固定连接于相应的操作模块(111)、及驱动模块(112)上。

5.如权利要求4所述的基板清洗设备，其特征在于，所述护罩(40)包括顶板(41)和从所述顶板向下延伸的左侧壁(42)、右侧壁(43)、前侧壁(44)、及后侧壁(45)；

所述护罩(40)的前侧壁(44)与后侧壁(45)上设有数个过孔(401)，每一海绵刷导辊(101)的两端分别穿过所述前侧壁(44)与后侧壁上(45)的过孔(401)并通过轴承与所述操作模块(111)、及驱动模块(112)进行连接，每一第一压制辊(103)的两端分别穿过所述前侧壁(44)与后侧壁(45)上的过孔(401)并通过轴承与所述操作模块(111)、及驱动模块(112)进行连接；

所述护罩(40)的左侧壁(42)、右侧壁(43)上均设有基板传送孔(402)；

所述机架(30)在对应所述护罩(40)的前后两侧分别具有一模块固定座，所述操作模块(111)与驱动模块(112)分别在所述护罩(40)的前后两侧固定于所述模块固定座上。

6.如权利要求2所述的基板清洗设备，其特征在于，所述传送机构(10)还包括两个相对设置的轴承座(121)、第二马达(122)、及传动组件(123)，所述传动组件(123)在所述第二马达(122)驱动下带动每个传送导辊(102)、及每个第二压制辊(104)进行转动；

每一轴承座(121)上对应每个海绵刷导辊(101)设有一个第一凹陷部(124)，对应每个传送导辊(102)设有一个第二凹陷部(125)；每一传送导辊(102)的两端分别枢接于所述两个轴承座(121)，每一第二压制辊(104)的两端分别枢接于所述两个轴承座(121)；

所述传动组件(123)为齿轮齿条传动组件。

7.如权利要求1所述的基板清洗设备，其特征在于，所述喷淋机构(20)包括分布于所述数个导辊(105)上下两侧的数条喷淋管(21)，每一喷淋管(21)上设有数个喷嘴；每一喷淋管(21)对应设于两相邻导辊(105)之间间隙的上方、或下方。

8.如权利要求1所述的基板清洗设备，其特征在于，所述海绵刷导辊(101)包括第一旋转杆(141)、及贴附于所述第一旋转杆(141)上的海绵层(142)，所述海绵层(142)的材料为研磨型海绵；所述第一压制辊(103)与第二压制辊(104)均包括第二旋转杆(143)、及贴附于所述第二旋转杆(143)上的塑料层(144)，所述塑料层(144)的材料为聚乙烯醇。