[发明专利]一种传声器的制备方法

说明书

本发明提供一种用于传声器的振动膜、传声器及其制备方法，所述振动膜包括工作区域及锚点，所述锚点位于所述工作区域的四个顶角，且与所述工作区域为一体化结构；所述振动膜内形成有褶皱，且所述褶皱位于所述工作区域内。本发明通过在振动膜内设置褶皱，增大了振动膜的有效振动长度，使得振动膜更容易发生形变，在通过提高所述振动膜的厚度提高其声压测试性能的同时，提高了其柔软度及灵敏度。

技术领域

本发明属于半导体制造技术领域，特别涉及一种用于传声器的振动膜、传声器及其制备方法。

背景技术

麦克风是一种把声音能量转化为电信号的传感器件，电容MEMS麦克风原理是通过声压引起振动膜的振动，进而改变电容。请参阅图1，现有的麦克风包括：内部形成有通孔11的衬底10；通过锚点121固定于所述衬底10表面的振动膜12，所述振动膜12与所述衬底10相隔一定的间距，且为一个平整的没有褶皱的振动膜；位于所述振动膜12上方、且与所述振动膜12相隔一定间距的支撑板13，所述支撑板13内形成有声孔14，所述支撑板13固定于所述衬底10的表面；位于所述支撑板13下表面的上电极16。由于所述振动膜12的厚度比较薄，其形变能力有限，在声压测试中容易被较强的声压所破坏，从而导致产品的失效。

目前，为了提高麦克风中的所述振动膜12声压测试性能，一种常用的做法为增加所述振动膜12的厚度。虽然提高所述振动膜12的厚度可以提高其声压测试性能，但随着厚度的增加，所述振动膜12的柔软度(compliance)也会下降，而所述振动膜12的柔软度下降则会导致其灵敏度随着一起下降，从而影响了麦克风的性能。

发明内容

本发明针对现有技术存在的上述不足，提出了一种用于传声器的振动膜、传声器及其制备方法，用于解决现有技术中传声器存在的声压测试性能及柔软度无法同时兼顾的问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本发明提供一种用于传声器的振动膜，所述振动膜包括工作区域及锚点，所述锚点位于所述工作区域的四个顶角，且与所述工作区域为一体化结构；所述振动膜内形成有褶皱，且所述褶皱位于所述工作区域内。

作为本发明的用于传声器的振动膜的一种优选方案，所述褶皱包括第一褶曲及第二褶曲，所述第二褶曲位于所述第一褶曲与所述锚点之间。

作为本发明的用于传声器的振动膜的一种优选方案，所述第一褶曲的形状为圆形或圆角矩形；所述第二褶曲的形状为弧形或线形。

作为本发明的用于传声器的振动膜的一种优选方案，所述第一褶曲的数量为多个，相邻所述第一褶曲之间的间距相等。

作为本发明的用于传声器的振动膜的一种优选方案，所述第一褶曲的数量为多个，相邻所述第一褶曲之间的间距自所述工作区域中心至外围逐渐减小。

作为本发明的用于传声器的振动膜的一种优选方案，所述第一褶曲及所述第二褶曲纵截面的形状为矩形。

作为本发明的用于传声器的振动膜的一种优选方案，所述第一褶曲及所述第二褶曲纵截面的形状为设有弧形倒角的矩形。

作为本发明的用于传声器的振动膜的一种优选方案，所述振动膜的下表面还设有第一阻挡结构，所述第一阻挡结构的厚度小于所述锚点的厚度。

本发明还提供一种传声器，所述传声器包括：衬底，所述衬底内形成有通孔；

如上述任一方案中所述的振动膜，所述振动膜通过所述锚点固定于所述衬底的表面，且与所述衬底相隔一定的间距；

支撑板，位于所述振动膜的上方，且与所述振动膜相隔一定的间距，所述支撑板固定于所述衬底表面；所述支撑板内形成有多个间隔分布的声孔及第二阻挡结构，所述第二阻挡结构的下表面与所述振动膜相隔一定的间距；

上电极，位于所述支撑板的下表面。