[发明专利]双面薄膜电感器及其制作方法在审
申请号: | 201611160826.X | 申请日: | 2016-12-15 |
公开(公告)号: | CN108231371A | 公开(公告)日: | 2018-06-29 |
发明(设计)人: | 庄弘毅;张军会;吴术爱;金号春;廖冬梅;陈玲 | 申请(专利权)人: | 昆山福仕电子材料工业有限公司 |
主分类号: | H01F27/28 | 分类号: | H01F27/28;H01F27/29;H01F41/04 |
代理公司: | 昆山四方专利事务所 32212 | 代理人: | 盛建德;段新颖 |
地址: | 215300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电感线路 绝缘基板 制作 背面 导电通孔 双面薄膜 电感器 电感 黄光制程 基板两面 镭射 良率 两层 填孔 光纤 贯通 印刷 应用 | ||
本发明公开了一种双面薄膜电感器及其制作方法,在绝缘基板正面及背面均制作了电感线路,且正面电感线路与背面电感线路通过贯通绝缘基板正面及背面的导电通孔相连接,这样,采用黄光制程可同时完成绝缘基板正面电感线路及背面电感线路的制作(上下电感线路同时完成),大大提高了制作效率,相比现有技术中制作电感线路,制作效率提高了一倍,且上,下两层电感线路将绝缘基板夹在中间的结构,扩大了电感线路应用的范围,基板两面的电感线路比传统只在绝缘基板单面的制作电感线路更能提高电感值。导电通孔通过光纤镭射和印刷填孔在绝缘基板上,由于可使用的孔径面积大,且制作容易,良率可提高许多。
技术领域
本发明涉及电感器技术领域,尤其是涉及一种双面薄膜电感器及其制作方法。
背景技术
随着信息科技的飞速发展,人们对于科技的依赖性逐日增加,射频通信领域也发生着翻天覆地的变化,由于其广泛的应用范围带来了非常理想的市场前景,一直受到人们的青睐。薄膜电感器作为一种非常广泛的无源器件,在电路中的模块中屡见不鲜,在射频匹配电路、放大器等电路模块中尤为突出。如何能够解决磁芯电感器品质因数和自谐振频率的问题,同时保证电感值满足实际电路的需要,需设计一款新型的电感产品来满足这个市场需求。现有普通薄膜电感一般是采用叠层的方式,其结构及制造工艺上还存在着如下的缺点:
第一、传统薄膜电感器的制程都是一次一层,由下层线路导通上层线路,逐步完成,制作过程冗长,效率不高。
第二、上下层线路的道通层必须利用黄光制程制作,容易因为上下层落差,或者显影不洁造成电极有残留物而导致导通不良或断路,因而影响良率。
发明内容
为了解决上述技术问题,本发明提出一种双面薄膜电感器及其制作方法,除可改善传统制作薄膜电感器的效率之外,上下层线路将绝缘基板夹在中间的结构,扩大了线路应用的范围,基板两面的线路可以比传统只在基板单面的线路更能提高电感值。
本发明的技术方案是这样实现的:
一种双面薄膜电感器,包括一方形块状的绝缘基板,所述绝缘基板具有正面和背面,靠近所述绝缘基板左右两侧的正面上形成有沿X轴方向延伸的正面电极,所述绝缘基板正面中部形成有正面电感线路,该正面电感线路与所述正面电极电连接;
靠近所述绝缘基板左右两侧的背面上形成有沿X轴方向延伸的背面电极,所述绝缘基板背面中部形成有背面电感线路,该背面电感线路与所述背面电极电连接;
所述正面电感线路与所述背面电感线路之间通过连通所述绝缘基板正面及背面的至少一导电通孔相连接;
所述正面电感线路及所述背面电感线路外覆盖有绝缘保护层;
所述绝缘基板上沿X轴方向延伸的两个侧立面上分别形成有侧面电极,所述侧面电极向所述绝缘基板背面延伸搭接在所述背面电极边缘上,所述侧面电极向所述绝缘基板正面延伸搭接在所述正面电极边缘上;
所述侧面电极外镀设有镀铜层,所述镀铜层外镀设有镀镍层,所述镀镍层延伸覆盖住所述正面电极及所述背面电极,所述镀镍层上形成有完全覆盖住所述镀镍层的镀锡层,且所述镀锡层与所述绝缘保护层的端面相接。
进一步的,所述绝缘基板正面的绝缘保护层上印刷有标识层。
进一步的,所述导电通孔包括连通所述绝缘基板正面及背面的通孔,所述通孔内印刷填满了银膏。
进一步的,所述正面电感线路、所述背面电感线路、所述正面电极和所述背面电极均包括一层溅射金属层和挂镀在该溅射金属层上一层挂镀金属层。
进一步的,所述绝缘保护层为感光型树脂浆料层。
进一步的,所述正面电感线路和所述背面电感线路均排布成平面螺旋线状。
一种双面薄膜电感器的制作方法,包括如下步骤:
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