[发明专利]用于制造光电倍增管的排气装置及操作方法

说明书

技术领域

本发明涉及光电倍增管技术领域，具体而言涉及一种用于制造光电倍增管的排气装置及操作方法。

背景技术

光电倍增管是一种真空管，用于微弱光信号的探测。光电倍增管通过排气装置进行制作，制作的过程包括烘烤除气、光电阴极制作、电子清刷、封接等。传统技术制作光电倍增管时，光电阴极制作过程中，管芯位于光电倍增管的内部，无法进行电子清刷，同时光电阴极制作时，碱源蒸汽会污染管芯中的电子倍增器，进而影响光电倍增管的增益及噪声。本发明新设计的排气装置，在光电倍增管光电阴极制作时，管芯位于光电倍增管外部，光电倍增管玻璃球壳与管芯是分离的，光电阴极制作完成后，再把管芯放入玻璃球壳内，并完成封接。

发明内容

本发明所解决的技术问题是：根据光电倍增管的结构，提供一种新型排气装置，能够在光电阴极制作时，将玻璃球壳及管芯分开，避免管芯中的电子倍增器受到碱蒸汽的污染，同时对管芯中的电子倍增器进行电子清刷。

为达成上述目的，本发明提出一种用于光电倍增管制造的排气装置，包括：钟罩、底板、机架、电子清刷系统、阴极系统、分子泵、干泵以及电控系统，其中：

所述钟罩设置有钟罩升降机构，能够升降，并具有加热功能，所述底板上方安装有载物台，载物台包括三个工位，能够旋转，底板下方安装有阴极系统、电子清刷系统，所述阴极系统具有阴极组件升降机构，所述电子清刷系统具有升降、平移机构，并通过旋转挡板与钟罩隔离。

本发明与现有技术相比，其显著优点为：1)该结构的排气装置，制作光电倍增管过程中，光电阴极制作时，管芯不在玻璃球壳内，位于其它腔室内，避免了碱源蒸汽对管芯中电子倍增器的污染；2)光电倍增管制作过程中，能够在真空环境下，将管芯放入玻璃球壳内，并完成密封封接；3)该装置具有三个工位，工作效率高。

应当理解，前述构思以及在下面更加详细地描述的额外构思的所有组合只要在这样的构思不相互矛盾的情况下都可以被视为本公开的发明主题的一部分。另外，所要求保护的主题的所有组合都被视为本公开的发明主题的一部分。

结合附图从下面的描述中可以更加全面地理解本发明教导的前述和其他方面、实施例和特征。本发明的其他附加方面例如示例性实施方式的特征和/或有益效果将在下面的描述中显见，或通过根据本发明教导的具体实施方式的实践中得知。

附图说明

附图不意在按比例绘制。在附图中，在各个图中示出的每个相同或近似相同的组成部分可以用相同的标号表示。为了清晰起见，在每个图中，并非每个组成部分均被标记。现在，将通过例子并参考附图来描述本发明的各个方面的实施例，其中：

图1是根据本发明某些实施例的用于光电倍增管制造的排气装置的结构示意图。

图2是根据本发明某些实施例的底板的示意图。

图3是根据本发明某些实施例的底板下方阴极系统法兰、电子清刷系统法兰分布结构示意图。

图4是根据本发明某些实施例的电子清刷系统结构示意图。

图5是根据本发明某些实施例的阴极系统结构示意图。

具体实施方式

为了更了解本发明的技术内容，特举具体实施例并配合所附图式说明如下。

在本公开中参照附图来描述本发明的各方面，附图中示出了许多说明的实施例。本公开的实施例不必定意在包括本发明的所有方面。应当理解，上面介绍的多种构思和实施例，以及下面更加详细地描述的那些构思和实施方式可以以很多方式中任意一种来实施，这是因为本发明所公开的构思和实施例并不限于任何实施方式。另外，本发明公开的一些方面可以单独使用，或者与本发明公开的其他方面的任何适当组合来使用。

结合图1-图5所示，根据本发明的实施例，一种用于制造光电倍增管的排气装置，包括钟罩1、底板3、机架4、分子泵5、电子清刷系统6、阴极系统7以及干泵8，所述排气装置还包括电控系统，用于控制所述分子泵、电子清刷系统、阴极系统以及干泵的运行。

所述钟罩1可升降地安装并覆盖到底板3的上方，并具有加热功能，能够加热载物台303上的玻璃球壳2。底板3的上表面安装有载物台303，载物台303包括三个工位，并可旋转，底板3下方安装有电子清刷系统6和阴极系统7，所述阴极系统7具有阴极组件升降机构703，所述电子清刷系统6具有升降、平移机构，并通过旋转挡板301与钟罩1隔离。

所述钟罩1设置有钟罩升降机构101，能够升降。