[发明专利]用于制造光电倍增管的排气装置及操作方法

权利要求书

1.一种用于制造光电倍增管的排气装置，其特征在于，包括钟罩、底板、分子泵、电子清刷系统、阴极系统以及干泵，所述排气装置还包括电控系统用于控制所述分子泵、电子清刷系统、阴极系统以及干泵的运行，其中：

所述底板的上表面安装有载物台，载物台包括三个工位，各工位相互独立并可旋转；

所述钟罩可升降地安装并覆盖到底板的上方，并在其内壁上安装有加热装置，用于加热位于底板上方的载物台上的玻璃球壳；通过载物台的旋转使得玻璃球壳在阴极系统及电子清刷系统之间旋转平移；

所述电子清刷系统具有升降、平移机构，并通过旋转挡板与钟罩隔离；电子清刷系统位于底板下侧，通过电子清刷系统法兰与底板相连，电子清刷系统用于将管芯升入载物台上的玻璃球壳中，将管芯与玻璃球壳进行金属封接；

所述阴极系统具有阴极组件升降机构，所述阴极系统位于底板下侧，通过阴极系统法兰与底板相连，阴极系统被设置成将阴极组件升到载物台上的玻璃球壳中，制作光电阴极；

所述底板包括旋转挡板、氟胶圈以及载物台；底板位于钟罩下方，底板与钟罩之间采用氟胶圈进行密封，氟胶圈位于底板上部边缘位置；底板上部布置有载物台，载物台具有三个工位，三个工位均匀分布，相互独立，用于固定光电倍增管玻璃球壳；

所述载物台设置成围绕中心轴旋转，通过伺服电机控制旋转角度，可从阴极系统上方旋转至电子清刷系统上方；旋转挡板位于电子清刷系统法兰上方并可旋转，用于遮挡电子清刷系统；

所述排气装置包括三个阴极系统法兰、三个电子清刷系统法兰，阴极系统法兰与电子清刷系统法兰交叉分布，均匀分布在底板下方；阴极系统法兰、电子清刷系统法兰所在的圆周直径与载物台的三个工位所在的圆周直径相同；

所述电子清刷系统分布在底板下方，包括管芯、磁流体、管芯升降机构以及电子枪平移机构，管芯升降机构通过伺服电机带动传动丝扛控制管芯升降，传动丝扛位于电子清刷系统内部，通过磁流体进行真空密封；电子清刷系统通过电子枪平移机构控制管芯电子枪平移；

所述阴极系统分布在底板下方，包括阴极组件、传动丝扛、波纹管、阴极组件升降结构以及导向杆，阴极组件升降机构通过步进电机带动传动丝扛旋转控制阴极组件升降，通过导向杆保证升降稳定性，利用波纹管进行真空密封。

2.一种权利要求1所述的用于制造光电倍增管的排气装置的操作方法，其特征在于，包括下述步骤：

通过钟罩升降机构升起钟罩；

将玻璃球壳安装在载物台上；

将管芯安装在电子清刷系统中；

将阴极组件安装在阴极系统中；

旋转载物台，将玻璃球壳平移至阴极系统上方；

将阴极组件升入玻璃球壳内；

将管芯升入钟罩内，降下钟罩，此时钟罩与阴极系统、电子清刷系统形成真空室；

开启干泵和分子泵，进行真空抽气，达到设定的真空度时，开启钟罩内加热装置，对玻璃球壳、管芯、阴极组件进行烘烤除气；

烘烤除气完成后，将管芯降至电子清刷系统中，关闭旋转挡板，通过电子枪平移机构将电子枪平移至管芯上方，进行电子清刷，同时在玻璃球壳内蒸镀光电阴极；

阴极制作完成后，将阴极组件降至阴极系统中；

电子清刷完成后，通过电子枪平移机构将电子枪平移至管芯侧上方；

打开旋转挡板，旋转载物台，将玻璃球壳从阴极系统上方旋转至电子清刷系统上方，将管芯升入玻璃球壳中，管芯与玻璃球壳对接，完成密封封接。