[发明专利]一种光阻剂喷涂量的监测方法

权利要求书

1.一种光阻剂喷涂量的监测方法，其特征在于，所述方法包括：

提供晶圆；

在所述晶圆表面的中心的两侧形成沿第一方向间隔设置的若干第一标记，在所述晶圆表面的中心的两侧形成沿第二方向间隔设置的若干第二标记，所述第一方向与所述第二方向垂直，任一所述第一标记与所述中心之间的距离不等于任一所述第二标记与所述中心之间的距离；

对所述晶圆喷涂光阻剂，以覆盖所述晶圆、所述第一标记以及所述第二标记；

对所述光阻剂进行成像，并在成像图案中根据所述第一标记和所述第二标记确定所述光阻剂形成的晕环到所述晶圆边缘的距离，包括：在所述成像图案中查找所述光阻剂形成的所述晕环，然后确定距离所述晕环最近所述第一标记和所述第二标记；比较距离所述晕环最近的所述第一标记与所述晕环之间的距离和距离所述晕环最近的所述第二标记与所述晕环之间的距离，将距离所述晕环较近的标记作为参照来确定所述晕环到所述晶圆边缘的距离；

根据所述距离与所述光阻剂喷涂量之间的对应关系，确定所述光阻剂的喷涂量。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述晶圆的直径为200mm，离所述中心最近的所述第一标记与所述中心之间的距离和离所述中心最近的所述第二标记与所述中心之间的距离相差5mm。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所有所述第一标记关于所述中心对称设置，所有所述第二标记关于所述中心对称设置。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，相邻的所述第一标记之间的距离相等，相邻的所述第二标记之间的距离相等。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，相邻的所述第一标记之间的距离不大于10mm，相邻的所述第二标记之间的距离不大于10mm。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，沿所述第一方向在距离所述晶圆中心分别为95mm、85mm、75mm、65mm、55mm、45mm、35mm、25mm和15mm的位置处设置所述第一标记。

7.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，沿所述第二方向在距离所述晶圆中心分别为90mm、80mm、70mm、60mm、50mm、40mm、30mm、20mm和10mm的位置处设置所述第二标记。

8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一标记和/或所述第二标记的制备方法包括：

在所述晶圆上形成标记材料层，以覆盖所述晶圆；

对所述标记材料层进行蚀刻，以得到所述第一标记和/或所述第二标记。

9.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一标记和/或所述第二标记为方形标记。

10.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述距离为晕环的最内环到所述晶圆边缘的距离。

11.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述光阻剂包括聚酰胺。