[发明专利]一种防止PECVD小推车上石墨舟倾斜掉落的方法在审
申请号: | 201611108076.1 | 申请日: | 2016-12-06 |
公开(公告)号: | CN108155136A | 公开(公告)日: | 2018-06-12 |
发明(设计)人: | 缪爱群 | 申请(专利权)人: | 浙江鸿禧能源股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L31/18 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 314206 浙江省嘉*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 石墨舟 小推车 掉落 承载托盘 卡扣 手柄连接处 手柄 凹槽结构 左右两侧 固定孔 取下 上料 报废 | ||
本发明公开了一种防止PECVD小推车上石墨舟倾斜掉落的方法,包括石墨舟小推车,承载托盘及凹槽,U型卡锁,其中U型卡锁由卡扣、手柄、固定孔及卡扣手柄连接处组成;在承载托盘左右两侧下方设置凹槽结构;在使用过程中,将U型卡锁卡在凹槽内,在上料之前将两侧的U型卡锁取下。本发明的有益效果是防止在下压小推车过程中石墨舟倾斜掉落,减少了石墨舟的报废,降低生产成本。
技术领域
本发明涉及晶硅太阳能电池片制造领域,具体地涉及一种防止PECVD小推车上石墨舟倾斜掉落的方法。
背景技术
在晶硅太阳能电池片的制备过程中,通过PECVD工艺制备减反射膜。为了达到增加产能的目的,提高现有设备的利用率,已有光伏厂家在PECVD工艺过程中通过增加单次镀膜硅片的数量来达到上述目的,即通过增加石墨舟的舟片数量来实现。对石墨舟进行改造之后,石墨舟的重量及宽度有所增加,导致下压小推车过程中石墨舟易倾斜侧翻,从而导致石墨舟的整舟报废,增加生产成本。
发明内容
本发明的目的是提供一种防止PECVD小推车上石墨舟倾斜掉落的方法,达到防止员工在下压小推车时容易造成石墨舟倾斜掉落导致整个石墨舟的报废的目的。
为了实现上述目的,本发明采用的技术解决方案是:一种防止PECVD小推车上石墨舟倾斜掉落的方法,包括石墨舟小推车,承载托盘及凹槽,U型卡锁,其中U型卡锁由卡扣、手柄、固定孔及卡扣手柄连接处组成;在承载托盘左右两侧下方设置凹槽结构;在使用过程中,将U型卡锁卡在凹槽内,在上料之前将两侧的U型卡锁取下。
本发明的有益效果是防止在下压小推车过程中石墨舟倾斜掉落,减少了石墨舟的报废,降低生产成本。
附图说明
图1 本发明中U型卡锁的正视图
图中:1表示卡扣;2表示手柄;3表示固定孔;4表示卡扣手柄连接处
图2 本发明中U型卡锁的侧视图
图3 本发明中U型卡锁的俯视图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明的技术方案作进一步详细说明。
在本实施例中,一种防止PECVD小推车上石墨舟倾斜掉落的方法,包括石墨舟小推车,承载托盘及凹槽,U型卡锁,其中U型卡锁由卡扣、手柄、固定孔及卡扣手柄连接处组成;在承载托盘左右两侧下方设置凹槽结构;在使用过程中,将U型卡锁卡在凹槽内,在上料之前将两侧的U型卡锁取下。通过采用一种防止PECVD小推车上石墨舟倾斜掉落的方法,有效地防止了在下压小推车过程中石墨舟倾斜掉落,减少了石墨舟的报废,降低生产成本。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造