[发明专利]LED显示模组的磊晶复合蓝宝石基板的制造方法及基板有效
| 申请号： | 201611079085.2 | 申请日： | 2016-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN106784175B | 公开（公告）日： | 2018-12-21 |
| 发明（设计）人： | 严敏;程君;周鸣波 | 申请（专利权）人： | 环视先进数字显示无锡有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L33/02 |
| 代理公司： | 北京天奇智新知识产权代理有限公司 11340 | 代理人： | 刘黎明 |
| 地址： | 214131 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | led 显示 模组 复合 蓝宝石 制造 方法 | ||
1.一种LED显示模组的磊晶复合蓝宝石基板的制造方法，其特征在于，所述方法包括：
在蓝宝石基板的一侧表面进行图形化开槽，形成多个等间距的凹槽；
在所述多个凹槽中的第(3m-2)个凹槽和第(3m-1)个凹槽间制作待填充槽；m为自然数；
在所述待填充槽中定量填入硅酸盐焊料，并在高温炉设备中加热至熔融；
在二次熔融后，在所述填充槽内植入红光磊晶衬底方片，并且所述红光磊晶衬底方片与所述蓝宝石基板的一侧表面处于同一平面；
按照所述硅酸盐焊料的温度曲线进行退火；
在所述凹槽内淀积SiO2，形成隔离层；
对所述一侧表面进行碾磨抛光，即得到所述磊晶复合蓝宝石基板。
2.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述在所述填充槽内植入红光磊晶衬底方片之前，所述方法还包括：
制备所述红光磊晶衬底方片。
3.根据权利要求2所述的制造方法，其特征在于，所述制备所述红光磊晶衬底方片具体包括：
将红光磊晶圆片进行减薄；
对减薄后的红光磊晶圆片进行切割划片，得到所述红光磊晶衬底方片。
4.根据权利要求3所述的制造方法，其特征在于，所述减薄厚度为50um。
5.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述红光磊晶衬底方片具有定位标记；所述在所述填充槽内植入红光磊晶衬底方片具体为：
根据所述定位标记，对所述红光磊晶衬底方片和所述填充槽进行对位对准，并将所述红光磊晶衬底方片植入所述填充槽中。
6.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述红光磊晶衬底方片为GaAs衬片。
7.一种根据上述权利要求1-6任一所述方法制备得到的磊晶复合蓝宝石基板。
8.根据权利要求7所述的磊晶复合蓝宝石基板，其特征在于，所述磊晶复合蓝宝石基板用于LED显示模组。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于环视先进数字显示无锡有限公司，未经环视先进数字显示无锡有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201611079085.2/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种LED芯片及其制作方法
- 下一篇：一种发光效率高的LED芯片及其制作方法
