[发明专利]泄漏检查装置及泄漏检查方法有效
申请号: | 201611050911.0 | 申请日: | 2016-11-24 |
公开(公告)号: | CN107024323B | 公开(公告)日: | 2020-09-22 |
发明(设计)人: | 高根将希;佐佐木行雄 | 申请(专利权)人: | 雅马哈精密科技株式会社 |
主分类号: | G01M3/20 | 分类号: | G01M3/20 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 岳雪兰 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 泄漏 检查 装置 方法 | ||
提供一种泄漏检查装置及泄漏检查方法,能够高精度地进行泄漏检测,并且能够反复使用密封部件。泄漏检查装置具备:检查腔室,其能够收纳工件;按压构件,通过对密封部件进行按压使其与该检查腔室内的所述工件的开口部抵接来封堵该开口部,而将所述检查腔室内隔离为所述工件的内部侧和外部侧的彼此分开的密闭空间部;气体供给构件,其向所述工件的所述内部侧或所述外部侧中的一方的密闭空间部供给示踪气体;泄漏检测构件,其对从所述一方的密闭空间部泄漏到另一方的密闭空间部的所述示踪气体进行检测;锁止构件,其使封堵所述开口部的状态的所述密封部件的移动停止。
技术领域
本发明涉及利用示踪气体对工件中的泄漏进行检测的泄漏检查装置及泄漏检查方法。
背景技术
例如对在机动车中使用的轮胎进行支承的轮毂,由于在使轮胎内部的空气为密闭的状态下进行支承,因此要求气密性。一般来说,轮毂通过铝铸件的铸造和锻造、或者在组合式轮毂中,通过螺纹固定来对轮辋与轮辐焊接或密封等而接合形成。然而,在轮毂上会产生由于在铸造时产生的微小的孔和裂纹、焊接不良而引起的空气泄漏。于是,在像轮毂那样要求气密性的工件(圆筒、空调室外机、压缩机、机动车用燃料箱等各种工件)中,为了可靠地维持气密性,进行使用示踪气体(检查用气体)的泄漏检查(泄漏试验)。
作为用于实施使用该示踪气体的泄漏检查的泄漏检查装置,公知例如专利文献1所公开的装置。
专利文献1所记载的泄漏检查装置(泄漏试验装置)具备:密封夹具,其封堵工件即铝合金轮毂的轴向端部;容器,其覆盖铝合金轮毂及密封夹具;以及,真空腔室。另外,在专利文献1中,密封夹具具有由树脂或橡胶构成的密封环,利用密封环来密封铝合金轮毂的轴向两端。而且,在该泄漏检查装置中,在利用密封夹具封堵铝合金轮毂的轴向两端的状态下,向铝合金轮毂内空间供给氦气、空气混合气体,通过对从铝合金轮毂内泄漏到真空腔室的气体进行检测,来判定气体泄漏的有无。
专利文献1:(日本)特开2000‐74777号公报
这样,在专利文献1所记载的泄漏检查装置中,通过利用树脂、橡胶形成的具有柔性的密封部件(密封环)来封堵工件(铝合金轮毂)的开口部(开口),能够维持使工件的内部侧的密闭空间部与外部侧的密闭空间部密闭的状态。另外,在这样的结构的泄漏检查装置中,如图6所示,通过向工件20的内部侧的密闭空间部11或外部侧的密闭空间部12(在图6中为外部侧的密闭空间部12)供给氦气等示踪气体,示踪气体对密封部件31A进行按压而在密封部件31A施加有使其返回的反作用力f3。因此,为了维持密封部件31A、31B与工件20的开口部21a、21b紧密接触的状态,在工件20及密封部件31A上,需要考虑示踪气体带来的反作用力f3,施加比供给示踪气体前封堵工件20的开口部21a、21b所需的按压力、即工件20按压密封部件31A使其返回的力f2与示踪气体所带来的反作用力f3的合力更大的按压力f1。
然而,如果施加该按压力f1,则在供给示踪气体的初期,不产生示踪气体带来的反作用力f3,因此在工件上施加有过剩的按压力,应被检查的微小的孔和裂纹等发生变形而被封堵,出现不能合理地检测出泄漏的问题。另外,在密封部件上也施加有过剩的按压力,因此也出现了密封部件在短时间内发生磨损的问题。
发明内容
本发明是鉴于这样的情况而做出的,其目的在于提供一种能够高精度地进行检测检测、并且能够反复使用密封部件的泄漏检查装置及泄漏检查方法。
本发明的泄漏检查装置的特征在于,具备:检查腔室,其能够收纳工件;按压构件,其通过对该检查腔室内的密封部件进行按压使其与所述工件的开口部抵接来封堵该开口部,而将所述检查腔室内隔离为所述工件的内部侧和外部侧的彼此分开的密闭空间部;气体供给构件,其向所述工件的所述内部侧或所述外部侧中的一方的密闭空间部供给示踪气体;泄漏检测构件,其检测从所述一方的密闭空间部泄漏到另一方的密闭空间部的所述示踪气体;锁止构件,其使封堵所述开口部的状态的所述密封部件向从所述工件离开的方向的移动停止。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于雅马哈精密科技株式会社,未经雅马哈精密科技株式会社许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201611050911.0/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种半导体生产工艺及装置
- 下一篇:一种蚀刻装置