[发明专利]重物支承装置

权利要求书

1.一种重物支承装置，具有：

载置台，载置被支承物；

基台，以与该载置台之间形成间隙的方式与该载置台相向配置；

至少一个环状的密封部件，具有弹性、且配置在所述载置台和该基台之间；

分离防止结构，用于防止所述载置台和所述基台的分离，

所述基台和所述载置台具有相互相向的相向面，

所述至少一个密封部件分别在配置于环状的配置槽内的状态下与所述载置台和所述基台紧密接触，所述环状的配置槽形成在所述载置台或所述基台的一方、且朝向所述载置台或所述基台的另一方开放，

在所述载置台和所述基台之间，被所述至少一个密封部件包围的空间在充满液体的状态下构成液体充满空间，所述液体充满空间被维持在阻止液体从所述液体充满空间向所述重物支承装置的外部流出、且防止空气从重物支承装置的外部侵入所述液体充满空间的状态，

所述至少一个密封部件构成为，能够以使两者之间设有间隙的方式将所述载置台支承于所述基台、且能够以所述载置台和所述基台之间的间隙缩小的方式被压缩，

所述分离防止结构构成为，能够将所述基台与所述载置台的相对运动以及所述载置台与所述基台的相对移动限制在可确保所述至少一个密封部件与所述基台之间的紧密接触状态的范围内，其中，所述基台和所述载置台进行所述相对运动时相互的相向面接近或分离，所述载置台和所述基台在与所述基台的相向面和所述载置台的相向面接近或分离的方向正交的方向上进行所述相对移动，

所述液体充满空间构成为：无需从所述重物支承装置的外部向所述液体充满空间内供给液体，将所述被支承物载置于所述载置台上，则液体的压力升高，

通过该液体的压力，将所述载置台以与所述基台易于沿所述正交的方向相对滑动移动的状态支承在所述基台上。

2.根据权利要求1所述的重物支承装置，其中，

所述至少一个密封部件由多个所述密封部件构成，

所述多个密封部件分别配置在一个所述载置台和一个所述基台之间，

所述多个密封部件分别包围的空间构成所述液体充满空间。

3.根据权利要求1或2所述的重物支承装置，其中，

具有对所述液体充满空间内的液体的压力进行控制的压力控制结构，

该压力控制结构具有调整室，该调整室与所述液体充满空间连通、且内部形成有在被液体充满的状态下被密封的储藏空间，

该调整室能够对所述储藏空间内的压力进行变更。