[发明专利]一种多扫描驱动轴可移动多棱镜光路直写设备

权利要求书

1.一种多扫描驱动轴可移动多棱镜光路直写设备，其特征在于，所述多扫描驱动轴可移动多棱镜光路直写设备包括底座、多棱镜光路、步进驱动轴、连接板、真空吸盘、多个运动组件、相机；所述运动组件包括一个扫描驱动Y轴和一个升降驱动Z轴；真空吸盘位于运动组件上方；所述真空吸盘包括吸盘主体和真空发生装置；所述吸盘主体上以行和列的形式分布一定数量的气孔，每一行气孔各对应一个继电器，每一列气孔也各对应一个继电器；每个气孔与真空发生装置之间连接有气孔开关；气孔开关同时与该气孔所在行的继电器和该气孔所在列的继电器连接；所述气孔开关位于气孔与真空发生装置连接的真空管路上；所述吸盘主体的盘面为一整体盘面或由多块盘面组合而成。

2.根据权利要求1所述的多扫描驱动轴可移动多棱镜光路直写设备，其特征在于，所述多棱镜光路通过连接板与步进驱动轴连接。

3.根据权利要求1所述的多扫描驱动轴可移动多棱镜光路直写设备，其特征在于，所述气孔的行间距和列间距由吸盘主体中间到两边呈均匀递减的形式。

4.根据权利要求1所述的多扫描驱动轴可移动多棱镜光路直写设备，其特征在于，位于吸盘主体中部区域的气孔的行间距或列间距最大为1-3英寸，位于吸盘主体边缘区域的气孔的行间距或列间距最小为5-8mm。

5.根据权利要求1所述的多扫描驱动轴可移动多棱镜光路直写设备，其特征在于，所述多扫描驱动轴可移动多棱镜光路直写设备含有两个运动组件。

6.一种权利要求1-5任一所述的多扫描驱动轴可移动多棱镜光路直写设备的分区对位聚焦方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：

(1)在曝光之前，CCD相机抓取PCB板四个角的定位孔的坐标后，与电子档图形文件中相对应的定位孔坐标进行比对，建立电子档图形与PCB板的实际对应关系；如果CCD相机抓取的定位孔坐标与电子档图形文件中相应的坐标一致，那么进行步骤(2)；如果CCD相机抓取的定位孔坐标与电子档图形文件中相应的坐标不一致，那么将电子档图形文件进行调整使之与CCD相机抓取的定位孔坐标保持一致，光路曝光的起始位置也随之确定，继续进行步骤(2)；

(2)在曝光之前，将待曝光区域划分为M×N个子区域；

(3)分别计算每个子区域四个顶点的最佳焦面距离；如果这四个顶点的最佳焦面距离的最大差值在允许的误差范围之内，则以这四个顶点的最佳焦面距离的平均值作为该子区域曝光的焦面距离；如果这四个顶点的最佳焦面距离的最大差值不在允许的误差范围之内，那么将该子区域再划分为A×B个二级子区域，计算每个二级子区域四个顶点的最佳焦面距离，重复进行本步骤，直至每个子区域内的最佳焦面距离在误差范围内。