[发明专利]一种晶圆测试系统

说明书

技术领域

本发明涉及半导体领域，尤其涉及一种晶圆测试系统。

背景技术

集成电路在晶圆测试时，工作站、测试机和探针台是一个整体，工作站、测试机和探针台之间需要接收对方发来的指令并且还需发送指令给对方，它们之间需要通过各自的连线达到通讯的目的，工作站和测试机之间需要通过PCI接口相互连接，工作站和探针台之间需要通过GPIO接口相互连接，它们都是通过实体的线在两者之间连接，实体线必然会受到线本身长度的影响，太短可能无法接上相应的接口，太长又容易被外力影响导致松动等问题，并且需要考虑生产车间的实际布局需求。

现有技术一：工作站和测试机通过PCI接口连接

参考图1，工作站全程控制测试程序的运作，测试机进行测试并且返还给工作站检测的结果，所以它们之间需要通讯。测试机上都有一块专门的硬件板是负责通讯的，上面有PCI接口，通过实体线连接到工作站上，达到两者之间的通讯。一旦在测试工程中这个线脱落了或损坏了，操作人员很难发现问题，造成测试时间的浪费，并且线的长度决定了两者的空间布局。

现有技术二：工作站和探针台通过GPIO接口连接

继续参考图1，工作站需要控制探针台的移动，并且探针台也需要告诉工作站测试的芯片坐标，来完成数据，所以它们之间需要通过GPIB线来达到通讯的目的。GPIB线不宜过长，不宜弯曲，否则会导致通讯不上的问题，一旦损坏，更换比较麻烦，因为探针台的GPIB接口是比较隐蔽的。

发明内容

为解决上述技术问题，本发明提供了一种晶圆测试系统，节省空间和降低了布线难度。

一种晶圆测试系统，包括：探针台，用于得到当前位置坐标，并将测试结果进行显示；工作站，用于将所述当前位置坐标和开始测试指令发送给测试机，并接收测试机的测试结果；测试机，用于根据当前位置坐标开始测试；探针台接收器，用于接收测试结果；探针台发送器，用于向工作站发送位置坐标；工作站接收器，用于接收探针台的位置坐标和测试机的测试结果；工作站发送器，用于向测试机发送位置坐标，向测试机发送测试开始指令以及向探针台发送测试结果；测试机发送器，用于向工作站发送测试结果；测试机接收器，用于接收位置坐标和测试开始指令。

本发明的与现有技术相比，优点在于：

本发明通过在工作站、测试机和探针台上各安装一个无线接收器和无线发送器来达到无线通讯的目的，就可以避免实体线所带来的不便，并且方便生产车间的布局，达到节省空间和降低布线难度的目的。

附图说明

本发明的下列附图在此作为本发明的一部分用于理解本发明。附图中示出了本发明的实施例及其描述，用来解释本发明的原理。

图1为现有技术的工作站、测试机和探针台的连接方式；

图2为本发明的晶圆测试系统通过用无线接收器和无线发送器替换实体线的示意图；

图3为本发明的晶圆测试系统各设备之间的交互关系。

具体实施方式

在下文的描述中，给出了大量具体的细节以便提供对本发明更为彻底的理解。然而，对于本领域技术人员而言显而易见的是，本发明可以无需一个或多个这些细节而得以实施。在其他的例子中，为了避免与本发明发生混淆，对于本领域公知的一些技术特征未进行描述。

应当理解的是，本发明能够以不同形式实施，而不应当解释为局限于这里提出的实施例。相反地，提供这些实施例将使公开彻底和完全，并且将本发明的范围完全地传递给本领域技术人员。在附图中，为了清楚，层和区的尺寸以及相对尺寸可能被夸大。自始至终相同附图标记表示相同的元件。

集成电路在晶圆测试时，工作站、测试机和探针台是一个整体，工作站、测试机和探针台之间需要接收对方发来的指令并且还需发送指令给对方，它们之间需要通过各自的连线达到通讯的目的，工作站和测试机之间需要通过PCI接口相互连接，工作站和探针台之间需要通过GPIO接口相互连接，它们都是通过实体的线在两者之间连接，实体线必然会受到线本身长度的影响，太短可能无法接上相应的接口，太长又容易被外力影响导致松动等问题，并且需要考虑生产车间的实际布局需求。