[发明专利]一种晶圆测试系统在审
| 申请号： | 201611009771.2 | 申请日： | 2016-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN106771959A | 公开（公告）日： | 2017-05-31 |
| 发明（设计）人： | 王玉龙;张志勇;祁建华;方华;牛勇 | 申请（专利权）人： | 上海华岭集成电路技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 测试 系统 | ||
1.一种晶圆测试系统，其特征在于，包括：
探针台，用于得到当前位置坐标，并将测试结果进行显示；
工作站，用于将所述当前位置坐标和开始测试指令发送给测试机，并接收测试机的测试结果；
测试机，用于根据当前位置坐标开始测试；
探针台接收器，用于接收测试结果；
探针台发送器，用于向工作站发送位置坐标；
工作站接收器，用于接收探针台的位置坐标和测试机的测试结果；
工作站发送器，用于向测试机发送位置坐标，向测试机发送测试开始指令以及向探针台发送测试结果；
测试机发送器，用于向工作站发送测试结果；
测试机接收器，用于接收位置坐标和测试开始指令。
2.根据权利要求1所述的晶圆测试系统，其特征在于，所工作站发送器、探针台发送器和测试机发送器为无线发送器。
3.根据权利要求2所述的晶圆测试系统，其特征在于，所工作站发送器、探针台发送器和测试机发送器为无线射频发送器。
4.根据权利要求1所述的晶圆测试系统，其特征在于，所工作站接收器、探针台接收器和测试机接收器为无线接收器。
5.根据权利要求4所述的晶圆测试系统，其特征在于，所工作站接收器、探针台接收器和测试机接收器为无线射频接收器。
6.根据权利要求1所述的晶圆测试系统，其特征在于，所述所工作站接收器、探针台接收器、测试机接收器和工作站发送器、探针台发送器和测试机发送器均配置有地址。
7.根据权利要求6所述的晶圆测试系统，其特征在于，所述工作站接收器配置有两个接收地址，分别匹配探测台发送器和测试机发送器的地址。
8.根据权利要求6所述的晶圆测试系统，其特征在于，所述探测台接收器配置有一个接收地址，匹配与工作站发送器的地址；所述测试机接收器配置有一个接收地址，匹配与工作站发送器。
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