[发明专利]一种改进的改良西门子法多晶硅还原炉底盘有效
| 申请号： | 201610921498.4 | 申请日： | 2016-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN106276915B | 公开（公告）日： | 2018-07-03 |
| 发明（设计）人： | 赵丽丽;宋爱利;赵宏月;张胜涛 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨化兴软控科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人： | 牟永林 |
| 地址： | 150000 黑龙江省哈尔滨市高新技术产业开发区科*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 环形中心 电极 进气喷嘴 多晶硅还原炉底盘 底盘 改良西门子法 一次转化率 气体出口 还原炉 二环 多晶硅还原炉 改进 底盘中心 多晶硅棒 混合气体 气体原料 原有设备 不均匀 原有的 产率 产能 三环 五环 能耗 节约 生产 保证 | ||
【权利要求书】：
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