[发明专利]工件的平面磨削方法和平面磨床

说明书

本发明的课题在于，能以适度的高负荷有效地对硬脆材料、难削材料、其它工件进行磨削。在通过砂轮而对工件进行平面磨削时，在监视磨削负荷的同时，在磨削负荷上升时，降低砂轮的切入速度，在磨削负荷降低时，增加切入速度。对应于磨削负荷的多个中的各负荷阈值，设定磨削负荷越大，砂轮的切入速度越慢的各切入速度，在以规定速度而开始磨削后，每当磨削负荷上升、下降到规定的负荷阈值时，使砂轮减速、增速到相应的切入速度。

技术领域

本发明涉及对工件进行平面磨削的工件的平面磨削方法和平面磨床。

背景技术

在具有杯型的砂轮的平面磨床中，在磨削用于半导体元件的制造的硅晶片等的硬脆材料的工件时，在监视砂轮轴驱动电动机的负荷电流的同时，以规定的切入速度使砂轮轴的前端的砂轮进行切削，进行旋转台上的工件的横向进给磨削，在因砂轮的孔眼的堵塞使砂轮轴驱动电动机的负荷电流超过规定阈值时，在使砂轮退避、中断磨削后，再次使砂轮进行切削，与工件接触，由此促进砂轮的自动磨锐作用(专利文献1)。

已有技术文献

专利文献

专利文献1：JP特开2006—35406号公报

发明内容

发明要解决的课题

在这样的过去的磨削方法中，以规定的切入速度而使砂轮进行切入，另一方面，在磨削中的砂轮中产生孔眼堵塞时，暂时使砂轮退避以中断磨削，然后，再次使砂轮进行切入，促进砂轮的自动磨锐作用。由此，不能够在砂轮的磨削效率高的高负荷状态对工件进行磨削，另外磨削周期变长，难以在短时间以良好的效率对工件进行磨削。

另外，同样在专利文献1的磨削法以外的过去的磨削法中，具有在磨削时，使砂轮相对工件以一定的切入速度进行切入的磨削法；对应于砂轮的切入运送量，在依次减速方向改变粗磨削进给、中磨削进给，精磨削进给与进给速度关系的同时，进行磨削的磨削法(在下面称为“普通磨削法”)。

但是，在前者的磨削法中，在磨削中，砂轮的磨损量与工件的去除量以及砂轮的切入量之间的平衡遭到破坏，磨削负荷急剧地上升，或仅仅砂轮发生磨损，导致难以以良好的效率稳定地在砂轮的磨削效率良好的高负荷状态对工件进行磨削。

此外，在后者的磨削法中，因下述那样的理由，无法以良好的效率，稳定地在砂轮的磨削效率良好的高负荷状态对工件进行磨削。特别是在对硬度高、且脆硬脆材料的工件进行磨削时，由于按照根据砂轮的切入而不处于过负荷状态的方式改变砂轮的进给速度并对工件进行磨削，故必须使砂轮的切入速度减慢，耗费长的时间进行磨削。

然而，在这样的硬脆材料的场合，于磨削中多次产生砂轮表面的自动磨锐作用(孔眼替换)，磨削负荷大大地上下变化。其原因在于：相对在自动磨锐作用前，砂轮的切入感差的情况，如果一旦产生砂轮的自动磨锐作用，则砂轮的切刃增加，切入感突然地变得良好。其结果是，由于砂轮和工件的摩擦系数变化，磨削负荷大大地上下变化，故无法以磨削效率良好的高负荷，在短时间，以良好的效率稳定地进行磨削。

另外，因在自动磨锐作用中，摩擦热的增加造成的砂轮、工件、机械的急剧的热位移，在许多场合，砂轮轴与旋转台的轴向的距离变小。这一点与砂轮的切入速度上升的场合相同，是磨削负荷剧烈地上升的主要原因。另外，如果磨削负荷过度上升，则具有检测异常的磨削负荷，机械结束加工，或在最差的场合，砂轮、工件损伤，或机械损伤等的危险。

本发明的目的在于，针对这样的过去的问题，提供工件的平面磨削方法和平面磨床，其中，能以适合的高负荷有效地对硬脆材料、其它工件进行磨削，并且可防止磨削负荷的急剧上升等造成的工件、砂轮以及机械的损伤，另外，可减少砂轮的磨损。

用于解决课题的技术方案

本发明的工件的平面磨削方法涉及下述的方法，在该方法中，在通过砂轮而对工件进行平面磨削时，在监视磨削负荷的同时，伴随磨削负荷的上升，降低砂轮的切入速度。