[发明专利]一种感光树脂组合物有效

专利信息
申请号: 201610712999.1 申请日: 2016-08-23
公开(公告)号: CN106324992B 公开(公告)日: 2019-09-13
发明(设计)人: 李伟杰;严晓慧;周光大 申请(专利权)人: 杭州福斯特应用材料股份有限公司
主分类号: G03F7/027 分类号: G03F7/027;G03F7/004
代理公司: 杭州求是专利事务所有限公司 33200 代理人: 邱启旺
地址: 311300 浙江省*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 感光树脂组合物 碱可溶性聚合物 可光聚合化合物 不饱和基团 光引发剂 乙烯基 附着力 激光直接成像 精细线路 曝光能量 生产企业 生产效率 曝光 电镀 固化膜 光敏性 解析度 曝光机 显影液 良率 精密 剥离 生产
【权利要求书】:

1.一种感光树脂组合物,其特征在于,它包括碱可溶性聚合物、具有乙烯基不饱和基团的可光聚合化合物和光引发剂;其中,所述碱可溶性聚合物的质量含量为40-70%,所述具有乙烯基不饱和基团的可光聚合化合物的质量含量为20-50%,所述光引发剂的质量含量为0.5-20%;所述具有乙烯基不饱和基团的可光聚合化合物包含新戊二醇单元的环三羟甲基丙烷缩甲醛(甲基)丙烯酸酯:

其中,n为0-5之间的正整数,R为H或CH3

所述新戊二醇单元的环三羟甲基丙烷缩甲醛(甲基)丙烯酸酯的质量为感光树脂组合物总质量的5-15%。

2.根据权利要求1所述感光树脂组合物,其特征在于,所述的碱可溶性聚合物是(甲基)丙烯酸和(甲基)丙烯酸酯的共聚物;其中,(甲基)丙烯酸包括丙烯酸和甲基丙烯酸,(甲基)丙烯酸酯选自丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸乙酯、丙烯酸丁酯、甲基丙烯酸丁酯、丙烯酸羟乙酯、甲基丙烯酸羟乙酯、丙烯酸羟丙酯、甲基丙烯酸羟丙酯,丙烯酰胺、甲基丙烯酰胺、甲基丙烯酸十二烷基酯、丙烯酸异辛酯、甲基丙烯酸异冰片酯。

3.根据权利要求2所述感光树脂组合物,其特征在于,所述碱可溶性聚合物酸值为140-163mg KOH/g,数均分子量为50000-150000g/mol,玻璃化转变温度为90-140℃。

4.根据权利要求1所述的感光树脂组合物,其特征在于,n优选为2-4之间的正整数;所述新戊二醇单元的环三羟甲基丙烷缩甲醛(甲基)丙烯酸酯的质量优选为为感光树脂组合物总质量的7-11%。

5.根据权利要求1所述的感光树脂组合物,其特征在于,所述具有乙烯基不饱和基团的可光聚合化合物还包含单官能团化合物、双官能团化合物和多官能团化合物中的一种或多种,其中,单官能团化合物包括丙烯酸月桂酯、丙烯酸异癸酯、丙烯酸四氢呋喃甲酯、丙烯酸二噁茂酯;双官能团化合物为聚乙二醇二丙烯酸酯、聚丙二醇二甲基丙烯酸酯、乙氧基化双酚A二丙烯酸酸脂、1,6-己二醇二丙烯酸酯;多官能团化合物包括三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、乙氧基化三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、丙氧基化三羟基甲基丙烷三丙烯酸酯、丙氧化甘油三丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、含氨基甲酸的多官能团(甲基)丙烯酸酯。

6.根据权利要求1所述的感光树脂组合物,其特征在于,所述光引发剂包含苯甲双(2,4,6-三甲基苯甲酰基)氧化膦:

所述苯甲双(2,4,6-三甲基苯甲酰基)氧化膦的质量为感光树脂组合物总质量的0.5-2%。

7.根据权利要求6所述的感光树脂组合物,其特征在于,所述光引发剂还包括光聚合引发剂,所述光聚合引发剂选自苯偶姻双甲醚、苯偶姻乙醚、苯偶姻丙基醚、苯偶姻苯基醚、噻吨酮、2-氯噻吨酮、4-氯噻吨酮、2-异丙基噻吨酮、4-异丙基噻吨酮、二苯甲酮、4,4’-双(二甲氨基)二苯甲酮(米氏酮)、4,4’-双(二乙氨基)二苯甲酮、异丙基硫杂蒽酮、2-氯硫杂蒽酮、2,4-二乙基硫杂蒽酮、2-乙基蒽醌、2-叔丁基蒽醌、N,N-二甲基苯甲酸乙酯、苯甲酸二甲氨基乙酯、N,N-二甲基乙醇胺、2,2’-双(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-二咪唑、2,2’-双(2-溴-5-甲氧基苯)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑、2,2’-双(2,4-二氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑。

8.根据权利要求7所述的感光树脂组合物,其特征在于,所述光聚合引发剂优选由苯甲双(2,4,6-三甲基苯甲酰基)氧化膦和四乙基米氏酮的按重量比3:2组成的混合物。

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