[发明专利]一种高磁场下微型潘宁离子源

权利要求书

1.一种高磁场下微型潘宁离子源，包括通过阳极支架(3)设置在一对能够产生高磁场的电磁铁(4)之间的中空的阳极筒(5)，所述阳极筒(5)两端设有一对阴极(1)，所述阴极(1)通过第一绝缘件(2)、第二绝缘件(9)设置在所述阳极支架(3)上，所述阳极支架(3)中设有氢气管道(7)，所述氢气管道(7)能够将氢气送入所述阳极筒(5)中，所述阴极(1)上能够加载高频电压，其特征是：所述阳极筒(5)的长为50mm，内腔直径为2.3mm，筒壁厚度为0.75mm，筒体一侧设有长6-10mm、宽0.5mm的引出缝(8)；所述阴极(1)、第一绝缘件(2)、第二绝缘件(9)、阳极支架(3)的出气不影响所述潘宁离子源中的真空度；所述出气是指材料在真空中放出气体；由所述阳极筒(5)和所述阴极(1)构成的整个放电室位于所述电磁铁(4)之间，形成平行于圆筒形的所述阳极筒(5)的轴向的磁场(6)；所述阴极(1)加载的高频电压为80kV；所述电磁铁(4)的磁场强度为2.3T。

2.如权利要求1所述的潘宁离子源，其特征是：所述阳极筒(5)采用耐高温高压、低出气的钨铜合金制作。

3.如权利要求1所述的潘宁离子源，其特征是：所述阴极(1)采用低出气的100％纯度的钽制作。

4.如权利要求1所述的潘宁离子源，其特征是：所述第一绝缘件(2)、第二绝缘件(9)采用耐高温高压、低出气的陶瓷材料制作。

5.如权利要求1所述的潘宁离子源，其特征是：所述阳极支架(3)采用耐高温高压、低出气的钨铜合金材料制作。

6.如权利要求1所述的潘宁离子源，其特征是：所述阳极支架(3)有两个，对称设置在所述电磁铁(4)的内侧；所述阳极筒(5)的两端分别密封设置在两个所述阳极支架(3)中；两个所述阴极(1)通过所述第一绝缘件(2)分别密封设置在两个所述阳极支架(3)中；所述阳极筒(5)两端的空间分别与两个所述阴极(1)连通。

7.如权利要求6所述的潘宁离子源，其特征是：所述氢气管道(7)设置在其中一个所述阳极支架(3)内部。

8.如权利要求7所述的潘宁离子源，其特征是：所述氢气管道(7)的直径为外径2mm。

9.如权利要求1所述的潘宁离子源，其特征是：所述氢气为高纯氢气，输入压力是2个大气压。