[发明专利]钛聚焦环的清洗方法有效
| 申请号： | 201610578670.0 | 申请日： | 2016-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN107630221B | 公开（公告）日： | 2019-06-28 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;相原俊夫;王学泽;杨恕鉴 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23G1/10 | 分类号： | C23G1/10 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 徐文欣;吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 聚焦环 清洗 酸溶液 硝酸 氢氟酸 表面清洁度 混合溶液 去除 损伤 保证 | ||
1.一种钛聚焦环的清洗方法，其特征在于，包括：
提供钛聚焦环；
通过酸溶液对所述钛聚焦环进行第一清洗，所述酸溶液为硝酸与氢氟酸的混合溶液，所述酸溶液中硝酸与水的体积比值为25％～50％，氢氟酸与水的体积比值为25％～50％；
对所述钛聚焦环进行第二清洗，去除钛聚焦环表面的酸溶液。
2.如权利要求1所述的钛聚焦环的清洗方法，其特征在于，所述氢氟酸与水的体积比为50％。
3.如权利要求1所述的钛聚焦环的清洗方法，其特征在于，所述第一清洗包括：第一鼓泡处理或第一超声波处理；所述第一鼓泡处理的步骤包括：向所述酸溶液中通入第一气体。
4.如权利要求3所述的钛聚焦环的清洗方法，其特征在于，所述第一气体为空气或惰性气体。
5.如权利要求1所述的钛聚焦环的清洗方法，其特征在于，所述第一清洗的时间为5min～30min。
6.如权利要求1所述的钛聚焦环的清洗方法，其特征在于，所述酸溶液的温度为10℃～30℃。
7.如权利要求1所述的钛聚焦环的清洗方法，其特征在于，所述第二清洗包括：第二鼓泡处理、第二超声波处理、或者第二鼓泡处理和第二超声波处理的组合使用。
8.如权利要求7所述的钛聚焦环的清洗方法，其特征在于，所述第二鼓泡处理的步骤包括：向所述第二清洗的清洗液中通入第二气体。
9.如权利要求8所述的钛聚焦环的清洗方法，其特征在于，所述第二气体为空气或惰性气体；所述第二鼓泡处理的时间为4min～7min。
10.如权利要求7所述的钛聚焦环的清洗方法，其特征在于，所述第二超声波处理的次数为单次或多次。
11.如权利要求10所述的钛聚焦环的清洗方法，其特征在于，每次第二超声波处理的时间为4min～7min。
12.如权利要求1所述的钛聚焦环的清洗方法，其特征在于，所述第二清洗的清洗液为水。
13.如权利要求1所述的钛聚焦环的清洗方法，其特征在于，进行第一清洗之前，还包括：通过有机溶液对所述钛聚焦环进行第三清洗。
14.如权利要求13所述的钛聚焦环的清洗方法，其特征在于，所述有机溶液为异丙醇溶液。
15.如权利要求13所述的钛聚焦环的清洗方法，其特征在于，所述第三清洗的包括第三超声波处理、浸泡处理或第三超声波处理与浸泡处理的组合。
16.如权利要求15所述的钛聚焦环的清洗方法，其特征在于，所述浸泡处理的时间为4min～7min。
17.如权利要求15所述的钛聚焦环的清洗方法，其特征在于，所述第三超声波处理的次数为单次或多次。
18.如权利要求15所述的钛聚焦环的清洗方法，其特征在于，每次第三超声波处理的时间为4min～7min。
19.如权利要求13所述的钛聚焦环的清洗方法，其特征在于，所述第三清洗之后，第一清洗之前，还包括：对所述钛聚焦环进行第四清洗，去除所述钛聚焦环表面的有机溶剂。
20.如权利要求19所述的钛聚焦环的清洗方法，其特征在于，所述第四清洗为第四超声波处理；所述第二清洗的清洗液为水。
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