[发明专利]荷电粒子束装置、试样观察系统

说明书

本申请为申请日为2013年3月15日、申请号为201380011581.2、发明名称为“荷电粒子束装置、试样观察系统以及操作程序”的专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及荷电粒子束装置、试样观察系统以及操作程序的技术。

背景技术

扫描型电子显微镜(以下称为电子显微镜)操作中的参数的设定值即参数设定值的组合(以下称为观察条件)的设定大多是根据经验进行的。因此，会产生以下问题，即初学者在进行电子显微镜的操作时，很难掌握电子显微镜观察条件对拍摄图像产生怎样的影响，从而无法谋求初学者的技能提高。

对于这样的问题，专利文献1、2所记载的技术首先在该拍摄前进行多个简易观察条件的拍摄。而且，将得到的多个简易观察图像一览显示在显示部(e预览)。接着，用户从所显示的多个简易观察图像中选择所希望的简易观察图像。于是，计算机设定所选择的简易观察图像的观察条件。之后，对于用户所选择的简易观察图像进行需要的手动调整，进行拍摄。将作为该拍摄的结果得到的图像显示在显示部。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利第4014916号公报

专利文献2：日本专利第4014917号公报

发明内容

发明要解决的问题

但是，专利文献1、2所记载的技术具有以下的问题。

(1)初学者无法识别多个简易观察图像中的那个图像是好的。

(2)简易观察图像是原始的拍摄图像，因此初学者难以掌握多个简易观察图像各自有什么不同。

(3)为了得到多个简易观察图像需要花费时间。也就是说，得到目的图像的效率差。

本发明鉴于这样的背景而产生，本发明的课题在于，即使是初学者也能够容易地识别由于观察条件的不同而引起的拍摄结果的不同。

用于解决问题的手段

为了解决上述课题，提供一种荷电粒子束装置，其具备控制荷电粒子束装置的处理部，该荷电粒子束装置通过对试样照射一次电子束，取得与上述试样相关的信息，上述处理部使图像显示部显示表示当前的上述一次电子束的照射状态的图。

此外，提供一种试样观察系统，其具有荷电粒子束装置和控制上述荷电粒子束装置的计算机，上述计算机具有控制荷电粒子束装置的处理部，该荷电粒子束装置通过对试样照射一次电子束，取得与上述试样相关的信息，上述处理部使图像显示部显示表示当前的上述一次电子束的照射状态的图。

关于其他的解决手段，将在后面进行说明。

发明的效果

根据本发明，能够容易地识别由于观察条件的不同引起的拍摄结果的不同。

附图说明

图1是表示本发明的电子显微镜的一例的概略结构图。

图2是表示本实施方式的电子显微镜的操作步骤的流程图。

图3是表示本实施方式的操作画面的画面例的图。

图4是表示启动时的操作画面的画面例子的图(其一)。

图5是表示启动时的操作画面的画面例子的图(其二)。

图6是表示开始向试样照射一次电子束时的操作画面的例子的图。

图7是表示用户进行的视野搜索·倍率调整时的操作画面的例子的图(其一)。

图8是表示用户进行的视野搜索·倍率调整时的操作画面的例子的图(其二)。

图9是表示图像保存(拍摄)的操作画面的例子的图(其一)。

图10是表示图像保存(拍摄)的操作画面的例子的图(其二)。

图11是表示图像保存(拍摄)的操作画面的例子的图(其三)。

图12是表示图像保存(拍摄)的操作画面的例子的图(其四)。

图13是表示图像保存(拍摄)的操作画面的例子的图(其五)。

图14是表示图像保存(拍摄)的操作画面的例子的图(其六)。

图15是表示用户进行图像确认时以及观察条件的调整·变更时的操作画面的例子的图(其一)。

图16是表示用户进行图像确认时以及观察条件的调整·变更时的操作画面的例子的图(其二)。

图17是表示用户进行图像确认时以及观察条件的调整·变更时的操作画面的例子的图(其三)。

图18是表示本实施方式的观察条件设定表的图。

图19是表示用户进行图像确认时以及观察条件的调整·变更时的操作画面的例子的图(其四)。

图20是表示用户进行图像确认时以及观察条件的调整·变更时的操作画面的例子的图(其五)。