[发明专利]荷电粒子束装置、试样观察系统有效
| 申请号： | 201610517840.4 | 申请日： | 2013-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN106158567B | 公开（公告）日： | 2017-12-15 |
| 发明（设计）人： | 小西弥生;佐藤贡;高野昌树;玉山尚太朗;西村雅子;渡边俊哉;许斐麻美 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | H01J37/22 | 分类号： | H01J37/22;H01J37/26;H01J37/28 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司11243 | 代理人： | 范胜杰,文志 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 粒子束 装置 试样 观察 系统 | ||
1.一种荷电粒子束装置，其特征在于，
具备控制荷电粒子束装置的处理部，该荷电粒子束装置通过对试样照射一次电子束，取得与上述试样相关的信息，
上述处理部使图像显示部显示表示当前的上述一次电子束的照射状态的图，
上述处理部在上述图像显示部中显示表示上述一次电子束的照射状态的图，并且显示表示当前的进度状况的画面。
2.根据权利要求1所述的荷电粒子束装置，其特征在于，
上述处理部当开始照射上述一次电子束时，在上述图像显示部中显示表示上述一次电子束的照射状态的图。
3.根据权利要求1所述的荷电粒子束装置，其特征在于，
上述处理部在上述图像显示部中显示表示上述一次电子束的照射状态的图，并且显示表示上述荷电粒子束装置的当前的动作状态的画面。
4.根据权利要求2所述的荷电粒子束装置，其特征在于，
上述处理部在上述图像显示部中显示表示上述一次电子束的照射状态的图，并且显示表示上述荷电粒子束装置的当前的动作状态的画面。
5.根据权利要求1所述的荷电粒子束装置，其特征在于，
上述处理部在上述图像显示部中显示表示上述一次电子束的照射状态的图，并且显示与上述荷电粒子束装置的操作中的参数的设定值有关的信息。
6.根据权利要求2所述的荷电粒子束装置，其特征在于，
上述处理部在上述图像显示部中显示表示上述一次电子束的照射状态的图，并且显示与上述荷电粒子束装置的操作中的参数的设定值有关的信息。
7.根据权利要求3所述的荷电粒子束装置，其特征在于，
上述处理部在上述图像显示部中显示表示上述一次电子束的照射状态的图，并且显示与上述荷电粒子束装置的操作中的参数的设定值有关的信息。
8.根据权利要求4所述的荷电粒子束装置，其特征在于，
上述处理部在上述图像显示部中显示表示上述一次电子束的照射状态的图，并且显示与上述荷电粒子束装置的操作中的参数的设定值有关的信息。
9.根据权利要求1至8中的任意一项所述的荷电粒子束装置，其特征在于，
在使到目前为止显示的操作画面为不激活之后显示表示上述一次电子束的照射状态的图。
10.一种试样观察系统，其具有荷电粒子束装置和控制上述荷电粒子束装置的计算机，其特征在于，
上述计算机具有控制荷电粒子束装置的处理部，该荷电粒子束装置通过对试样照射一次电子束，取得与上述试样相关的信息，
上述处理部使图像显示部显示表示当前的上述一次电子束的照射状态的图，
上述处理部在上述图像显示部中显示表示上述一次电子束的照射状态的图，并且显示表示当前的进度状况的画面。
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