[发明专利]用于浸没式光刻机的双工件台装置以及浸没式光刻机

权利要求书

1.一种用于浸没式光刻机的双工件台装置，其特征在于，所述双工件台装置包括：

两个工件台，所述两个工件台各包括粗动模块、防撞模块和微动模块，所述粗动模块设置在所述微动模块下方并且用于移动所述微动模块，所述防撞模块固定在所述粗动模块上；

交换机构，所述交换机构设置在所述两个工件台中的一个或两者的防撞模块上并且包括交换桥板和升降机构，所述升降机构能够将所述交换桥板从第一位置转到第二位置，其中

在所述第一位置，所述交换桥板位于其所在的工件台的微动模块和防撞模块之间或位于所述防撞模块的下方，

在所述第二位置，所述交换桥板位于所述两个工件台的微动模块之间；

所述升降机构包括动力单元和第一铰链，所述动力单元与所述第一铰链设置在所述防撞模块上并且位于所述防撞模块上方的微动模块两侧。

2.根据权利要求1所述的双工件台装置，其特征在于，所述微动模块侧面设置有长条镜，在所述第一位置，所述交换桥板不遮挡所述长条镜对应的探测光路。

3.根据权利要求1所述的双工件台装置，其特征在于，所述交换桥板由交换桥板主体和设置在所述交换桥板主体两侧的柔性密封条组成。

4.根据权利要求 3所述的双工件台装置，其特征在于，在第二位置，所述交换桥板经由其两侧的柔性密封条与所述两个工件台的微动模块的上边沿过盈配合，以消除所述交换桥板与所述微动模块之间的间隙。

5.根据权利要求 1所述的双工件台装置，其特征在于，所述升降机构包括第一连杆，所述第一连杆的一端连接所述动力单元，所述第一连杆的另一端通过所述第一铰链与所述防撞模块转动连接。

6.根据权利要求 5所述的双工件台装置，其特征在于，所述动力单元和所述第一铰链与所述微动模块间隔一定距离，以防止微动模块工作时发生碰撞。

7.根据权利要求 5所述的双工件台装置，其特征在于，所述升降机构还包括第二连杆、第二铰链和第三铰链，所述第二铰链与所述第三铰链设置在所述防撞模块上并且位于所述防撞模块上方的微动模块两侧，所述第二连杆的两端分别通过所述第二铰链和第三铰链与所述微动模块转动连接。

8.根据权利要求 5所述的双工件台装置，其特征在于，所述升降机构还包括第二连杆、第二铰链和第三铰链，所述第二铰链与所述第三铰链设置在所述防撞模块上并且位于所述防撞模块上方的微动模块两侧下方，所述第二连杆的两端分别通过所述第二铰链和第三铰链与所述防撞模块转动连接。

9.根据权利要求 8所述的双工件台装置，其特征在于，所述第二和第三铰链与所述微动模块间隔一定距离，以防止微动模块工作时发生碰撞。

10.根据权利要求 7或9所述的双工件台装置，其特征在于，所述交换桥板通过第一对铰链和第二对铰链与所述第一连杆和第二连杆转动连接，所述动力单元通过驱动第一连杆带动所述交换桥板转动。

11.根据权利要求 5所述的双工件台装置，其特征在于，所述动力单元为电机。

12.一种浸没式光刻机，其特征在于，包括如权利要求1至11中任一项所述的双工件台装置。