[发明专利]具有水平调整功能的吸盘装置以及安装方法

说明书

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，尤其是涉及一种具有水平调整功能的吸盘装置以及吸盘装置的安装方法。

背景技术

硅片作为集成电路的基底，是半导体生产制造工艺中不可或缺的元素。

在生产过程中，各类仪器设备对硅片的取放、承载以及转移有着不同的专业要求。在光学检测设备中，不但要求硅片承载台对硅片的吸着要平整均匀，而且特别要求与系统的光学轴要严格垂直或以某一规定角度准直；而在硅片承载台安装校准中，由于其精准度及最大误差的限制近乎苛刻，对系统工程师来说困难很大。

为了提高对硅片承载台倾斜角调节的操控性及精度，人们作了努力，目前设计出的的硅片承载台的结构包括：气浮支座、调平机构、平面电机以及方镜等部件；其中的方镜上通常设置有吸盘装置，且该吸盘装置主要用于对硅片进行吸附，以使硅片固定于硅片台上；该方镜通常由至少三个方镜支柱支撑，且方镜支柱的底部固定设置于调平机构的上表面，该调平机构通常包括多个调平执行器，且每一个方镜支柱均与相应的调平执行器对应设置；该方镜与气浮支座之间通常设置有多个电涡流传感器，通过利用电涡流传感器可以准确的测量出气浮支座与方镜之间的垂向高度，通过根据测量出的垂向高度来驱动平面电机运转，可以使方镜始终处于高精度的水平状态，进而使方镜上的硅片处于水平状态。

发明人在实现本发明过程中发现，虽然现有的硅片台可以使方镜处于高精度的水平状态，然而，由于吸盘装置的机械制造误差以及安装操作等多方面的因素，固定设置于方镜上的吸盘装置的吸盘上表面很可能会出现没有保持水平状态的现象，从而使硅片台上的硅片没有很好的处于水平状态，最终 会对半导体制造工艺产生不良影响。

发明内容

本发明的目的是提供一种具有水平调整功能的吸盘装置以及吸盘装置的安装方法。

根据本发明的一个方面，提供一种具有水平调整功能的吸盘装置，且所述吸盘装置主要包括：吸盘、吸盘底座、多个第一螺钉以及至少一个第二螺钉；所述吸盘上设置有多个螺纹通孔；所述吸盘底座上设置有至少一个螺纹孔；所述多个第一螺钉分别与吸盘上相应的螺纹通孔螺合，且螺合于螺纹通孔中的第一螺钉的上表面低于吸盘的上表面，通过调整各第一螺钉旋入螺纹通孔的深度使吸盘的上表面处于水平状态；至少一个第一螺钉上设置有通孔，且第一螺钉上的通孔的中心线与第一螺钉的中心线重合；所述第二螺钉通过第一螺钉上的通孔与吸盘底座上的螺纹孔螺合，使吸盘固定在吸盘底座上。

根据本发明的另一个方面，提供一种具有水平调整功能的吸盘装置的安装方法，且所述吸盘装置的安装方法包括：将各第一螺钉分别旋入吸盘上相应的螺纹通孔中，且各第一螺钉的下表面不突出于吸盘的下表面；将第二螺钉通过第一螺钉上的通孔与吸盘底座上的螺纹孔螺合，使吸盘固定在吸盘底座上；通过检测吸盘的上表面的水平情况调整相应的第一螺钉旋入螺纹通孔的深度，以使吸盘的上表面处于水平状态。

与现有技术相比，本发明具有以下优点：本发明通过在吸盘上设置多个螺纹通孔，并通过控制相应位置的第一螺钉在螺纹通孔中的旋入深度，可以方便的使吸盘的上表面处于水平状态；通过在第一螺钉上设置通孔，并使通孔的中心线与第一螺钉的中心线重合，这样，在第二螺钉穿过第一螺钉上的通孔而与吸盘底座的螺纹孔螺合时，上紧第二螺钉的紧固力只会作用在调整螺钉与吸盘底座相接触的区域，而不会增大吸盘的变形，因此，在通过调整第一螺钉使吸盘的上表面保持高精度的水平状态后，上紧第二螺钉的操作基本上不会对吸盘的上表面的水平状态产生不利影响；由此可知，本发明提供的技术方案能够方便快捷的使吸盘的上表面处于高精度的水平状态，且本发明的吸盘装置还具有易用性强以及水平精度高等特点。

附图说明

通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本发明的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本发明实施例一的具有水平调整功能的吸盘装置的立体图；

图2为本发明实施例一的具有水平调整功能的吸盘装置的主视图；

图3为本发明实施例一的调整螺钉的立体图；

图4为本发明实施例一的防松螺钉的立体图。

附图中相同或相似的附图标记代表相同或相似的部件。

具体实施方式