[发明专利]具有水平调整功能的吸盘装置以及安装方法

权利要求书

1.一种具有水平调整功能的吸盘装置，其中，所述的吸盘装置包括：吸盘、吸盘底座、多个第一螺钉以及至少一个第二螺钉；

所述吸盘上设置有多个螺纹通孔；

所述吸盘底座上设置有至少一个螺纹孔；

所述多个第一螺钉分别与吸盘上相应的螺纹通孔螺合，且螺合于螺纹通孔中的第一螺钉的上表面低于吸盘的上表面，通过调整各第一螺钉旋入螺纹通孔的深度使吸盘的上表面处于水平状态；

至少一个第一螺钉上设置有通孔，且第一螺钉上的通孔的中心线与第一螺钉的中心线重合；

所述第二螺钉通过第一螺钉上的通孔与吸盘底座上的螺纹孔螺合，使吸盘固定在吸盘底座上。

2.根据权利要求1所述的吸盘装置，其中，所述多个螺纹通孔均匀的布设于以吸盘的圆心为圆心的一个圆周上。

3.根据权利要求1所述的吸盘装置，其中，所述第一螺钉上设置的通孔为台阶孔，且所述第二螺钉通过第一螺钉上的台阶孔与吸盘底座上的螺纹孔螺合后，第二螺钉的上表面沉入台阶孔形成的台阶空间中。

4.根据权利要求1所述的吸盘装置，其中，所述第一螺钉的上端面设置有两个一字槽，且所述两个一字槽被第一螺钉的通孔的一条直径连通；

或者

所述第一螺钉的上端面设置有两个孔，且所述两个孔分设在第一螺钉的通孔的两侧。

5.根据权利要求1所述的吸盘装置，其中，所述吸盘装置还包括：多个第三螺钉；

所述多个第三螺钉分别与吸盘上相应的螺纹通孔螺合，螺合于同一个螺纹通孔中的第三螺钉的下表面与第一螺钉的上表面抵接，且螺合于螺纹通孔中的第三螺钉的上表面不突出吸盘的上表面。

6.根据权利要求5所述的吸盘装置，其中，所述多个第三螺钉上分别设 置有通孔，且第三螺钉上的通孔的中心线与第三螺钉的中心线重合，第三螺钉上的通孔的直径不小于第二螺钉的最大直径。

7.根据权利要求1至6中任一权利要求所述的吸盘装置，其中，所述吸盘装置用于吸附硅片。

8.一种具有水平调整功能的吸盘装置的安装方法，其中，所述安装方法包括：

将各第一螺钉分别旋入吸盘上相应的螺纹通孔中，且各第一螺钉的下表面不突出于吸盘的下表面；

将第二螺钉通过第一螺钉上的通孔与吸盘底座上的螺纹孔螺合，使吸盘固定在吸盘底座上；

通过检测吸盘的上表面的水平情况调整相应的第一螺钉旋入螺纹通孔的深度，以使吸盘的上表面处于水平状态。

9.根据权利要求8所述的安装方法，其中，所述将各第一螺钉分别旋入吸盘上相应的螺纹通孔中，且各第一螺钉的下表面不突出于吸盘的下表面的步骤包括：

将各第一螺钉分别旋入吸盘上相应的螺纹通孔中，且各第一螺钉的下表面与吸盘的下表面处于同一平面。

10.根据权利要求8或9所述的安装方法，其中，所述方法还包括：

将各第三螺钉分别旋入吸盘上相应的螺纹通孔中，直到第三螺钉的上表面不突出吸盘的上表面，且第三螺钉的下表面与螺合于同一螺纹通孔中的第一螺钉的上表面抵接。