[发明专利]传感器电路及其使用方法有效

专利信息
申请号: 201610407441.2 申请日: 2016-06-12
公开(公告)号: CN107490438B 公开(公告)日: 2020-06-09
发明(设计)人: 吴蕾;陈先敏;司徒道明;罗睿明 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
主分类号: G01K1/20 分类号: G01K1/20;G01K15/00
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 徐文欣;吴敏
地址: 201203 *** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 传感器 电路 及其 使用方法
【说明书】:

发明提供一种传感器电路及其使用方法,其中,传感器电路包括:运算放大器,所述运算放大器包括第一输入端、第二输入端和运放输出端;输入模组,所述输入模组包括第一连接端和第二连接端,所述第一连接端接用于输入信号,所述第二连接端与所述第一输入端相连,所述输入模组包括调节电路,所述调节电路用于对所述输入模组的阻抗值进行调节;反馈模组,所述反馈模组包括第三连接端和第四连接端,所述第三连接端与所述第一输入端相连,所述第四连接端与所述输出端相连,所述反馈模组包括反馈阻抗。所述传感器电路能够提高测量精度,减小测量误差。

技术领域

本发明涉及半导体制造技术领域,尤其涉及一种传感器电路及其使用方法。

背景技术

温度传感器是通过测量输出的编码值,来判定当前环境温度的模块。编码值是由电压值通过模数转换器(Analog to Digital Converter,ADC)转换后得到的。温度传感器包括:温度转换器,用于产生随温度变化的电压信号;开关电容放大器,所述放大器用于对输入的电压信号进行放大;模数转化模块,用于将经过放大的电压信号转换为编码值。

温度传感器在工作过程中,由传感模块将周围的环境温度转换为电压信号,所述电压信号经过开关电容放大器被放大,再经过后级的模数转化模块转换为编码值。所述开关电容放大器的性能对温度传感器的测量精度有重要影响。随着半导体技术的发展,高速度、高精度已成为设计温度传感器的目标。因此,一个高速高精度的开关电容放大器就显得尤为重要。

然而,工艺角的变化以及版图设计等因素都会引起传感模块电压偏值,而且这种电压偏值是无法避免的,且现有的开关电容放大器精度较低,这就导致现有的温度传感器具有测量误差大,测量精度低的缺点。

发明内容

本发明解决的问题是提供一种传感器电路及其使用方法,能够减小传感器的测量误差,提高测量精度。

为解决上述问题,本发明提供一种传感器电路,包括:运算放大器,所述运算放大器包括第一输入端、第二输入端和运放输出端;输入模组,所述输入模组包括第一连接端和第二连接端,所述第一连接端接用于输入输入信号,所述第二连接端与所述第一输入端相连,所述输入模组包括调节电路,所述调节电路用于对所述输入模组的阻抗值进行调节;反馈模组,所述反馈模组包括第三连接端和第四连接端,所述第三连接端与所述第一输入端相连,所述第四连接端与所述输出端相连,所述反馈模组包括反馈阻抗。

可选的,所述调节电路包括:第一调节阻抗和第一开关器件,所述第一调节阻抗和第一开关器件串联。

可选的,所述第一开关器件为MOS晶体管。

可选的,所述第一调节阻抗包括电容。

可选的,所述反馈阻抗包括电容。

可选的,所述输入模组包括1~7个调节电路。

可选的,所述第一输入端为所述运算放大器的反向输入端;所述第二输入端为所述运算放大器件的正向输入端。

可选的,所述调节电路包括第一调节单元、第二调节单元和第三调节单元;所述第一调节单元包括第一调节阻抗和第一开关器件;所述第二调节单元包括第二调节阻抗和第二开关器件;所述第三调节单元包括第三调节阻抗和第三开关器件;所述输入阻抗、第一调节阻抗、第二调节阻抗和第三调节阻抗为电容。

可选的,所述第二调节阻抗与所述第一调节阻抗的电容之比值为:1.8~2.2;所述第三调节阻抗与所述第一调节阻抗的电容之比值为3.6~4.4。

可选的,传感器电路所述传感器电路还包括:数字逻辑模块,所述数字逻辑模块包括开关控制电路,所述开关控制电路用于控制所述调节电路;温度转换器,所述温度转换器用于将温度信号转换为所述输入信号。

可选的,所述输入模组还包括输入电路,所述输入电路包括输入阻抗,所述输入阻抗包括电容。

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