[发明专利]阵列基板、液晶显示面板及阵列基板的制造方法有效

专利信息
申请号: 201610345005.7 申请日: 2016-05-23
公开(公告)号: CN105785682B 公开(公告)日: 2020-09-04
发明(设计)人: 张蒙蒙 申请(专利权)人: 深圳市华星光电技术有限公司
主分类号: G02F1/1362 分类号: G02F1/1362;H01L27/12;H01L23/552
代理公司: 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 代理人: 何青瓦
地址: 518006 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 阵列 液晶显示 面板 制造 方法
【说明书】:

发明公开了一种阵列基板、液晶显示面板及阵列基板的制造方法,该阵列基板包括:第一遮光绝缘层形成在基板上,用于遮住进入基板的部分光线,其包括第一区域和第二区域,均为绝缘材料;第一功能层形成在第一遮光绝缘层的第二区域上,在第一遮光绝缘层的第二区域的遮光作用下避免受到光线的影响;第二功能层形成在第一遮光绝缘层的第一区域和第一功能层上,在第一遮光绝缘层的遮光作用下避免受到光线的影响;第三功能层形成在第二功能层上,在第一遮光绝缘层的遮光作用下避免受到光线的影响;第一功能层、第二功能层以及第三功能层为导体或半导体材料。通过上述方式,本发明能够使各个功能层不被照光,进而避免产生光漏电的问题。

技术领域

本发明涉及液晶显示技术领域,特别是涉及一种阵列基板、液晶显示面板及阵列基板的制造方法。

背景技术

薄膜晶体管-液晶显示器(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display,简写TFT-LCD)面板的生产,目前主流的技术是使用5道光罩,即5mask制程。为了提高产能,降低成本,目前正向着降低光罩数目方向发展。

现在,有很多产品使用4道光罩,即4mask制程。4mask制程普遍的做法是将5mask中的硅岛层(a-Si,简写AS)和数据电极层(Source Electrode,简写SE)合为一道光罩,该光罩采用灰阶掩膜技术(Gray Tone Mask,简写GTM)或者半灰阶掩膜技术(Half Tone Mask,简写HTM)进行制作。5mask制程时,仅在沟道处有a-Si,对于4mask制程,由于AS层和SE层为同一道光罩制作,于是SE层所有金属线下面全部都有半导体a-Si,包括贯穿整个面板的数据线(data line)。在面板点亮时,背光从面板下方照射,数据线下方的a-Si被背光照射到,于是产生光漏电流,使得TFT的性能受到一定程度的恶化,面板出现串扰(crosstalk)以及可能因光漏电引起的影象残留(Image Sticking,简写IS)等其他问题。

为了解决数据线下方a-Si被光照到的问题,可以在数据线和a-Si下方做一层遮光层。现有技术中,一种方案是在制作栅极电极(Gate Electrode,简写GE)所使用的mask时,将需要遮光的部分制作在GE mask上面,这样在制作扫描线同时,采用栅极金属制作一层遮光层。该方案不增加光罩成本和曝光成本。

但是,由于遮光层为金属,与数据线会形成电容,对数据线的数据传输有一定的影响。若使用非金属制作遮光层,则需要增加一道光罩,使价格成本和生产时间成本上升。

发明内容

本发明主要解决的技术问题是提供一种阵列基板、液晶显示面板及阵列基板的制造方法,能够使数据线下方a-Si不被照光,进而避免产生光漏电的问题,同时不增加光罩数目,不影响产能。

为解决上述技术问题,本发明采用的一个技术方案是:提供一种阵列基板,包括:

基板;

第一遮光绝缘层,形成在所述基板上,用于遮住进入所述基板的部分光线,其包括:间隔设置的第一区域和第二区域,均为绝缘材料;

第一功能层,形成在所述第一遮光绝缘层的所述第二区域上,用于实现第一功能,且在所述第一遮光绝缘层的所述第二区域的遮光作用下,避免受到光线的影响;

第二功能层,形成在所述第一遮光绝缘层的所述第一区域和所述第一功能层上,用于实现第二功能,且在所述第一遮光绝缘层的遮光作用下,避免受到光线的影响;

第三功能层,形成在所述第二功能层上,用于实现第三功能,且在所述第一遮光绝缘层的遮光作用下,避免受到光线的影响;

其中,所述第一功能层、第二功能层以及第三功能层为导体或半导体材料。

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