[发明专利]一种铌掺杂二氧化钛透明导电膜的制备方法及铌掺杂二氧化钛透明导电膜有效
| 申请号： | 201610339521.9 | 申请日： | 2016-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN105951053B | 公开（公告）日： | 2018-06-19 |
| 发明（设计）人： | 邵国胜;胡俊华;陆柳;宋安刚;郭美澜;付振亚 | 申请（专利权）人： | 郑州大学 |
| 主分类号： | C23C14/46 | 分类号： | C23C14/46;C23C14/58;C23C14/08 |
| 代理公司： | 郑州睿信知识产权代理有限公司 41119 | 代理人： | 牛爱周 |
| 地址： | 450001 *** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 透明导电膜 二氧化钛 铌掺杂 制备 氩气 体积流量 半成品 氧气 等离子体发射源 致密 等离子体溅射 等离子体气源 可见光透过率 化学稳定性 反应气体 光电性能 溅射靶材 溅射沉积 可重复性 偏压功率 退火处理 电阻率 原子数 靶材 衬底 耗能 溅射 晶化 薄膜 | ||
【说明书】：
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