[发明专利]量测微电容的探针卡

说明书

【技术领域】

本发明是有关一种探针卡，特别是一种量测微电容的探针卡。

【背景技术】

自1970年代微机电系统装置概念成形起，微机电系统(Microelectromechanical System，MEMS)装置已从实验室的探索对象进步至成为高阶系统整合的对象，并已在大众消费性装置中有广泛的应用，展现了惊人且稳定的成长。微机电系统装置包含一可动的微机电系统元件，借由感测可动的微机电系统元件的运动物理量所造成的电容差异可实现微机电系统装置的各项功能。

已知的晶圆级电容测试方法皆是采用大型的电感电容阻抗测试仪(LCR meter)或是以PXI(PCI eXtensions for Instrumentation)进行自动化生产量测。由于设备价格昂贵使得测试成本大幅提高。另一种晶圆级电容测试方法则是将交流信号源、压控放大电路、功率放大器等复杂电路组合设置于晶圆测试基板上，如此将大幅增加开发以及维护测试基板的困难度。举例而言，不同的微机电系统装置则需重新开发测试基板，亦即客制化测试基板，因而造成测试成本大幅提高。

综上所述，提供一种易于开发以及维护的测试基板便是目前极需努力的目标。

【发明内容】

本发明提供一种量测微电容的探针卡，其是将电容数字转换器设置于测试厂商所提供的标准基板进行微电容的量测。由于电容数字转换器以及标准基板皆是现有元件，而无需额外开发，因此可大幅降低探针卡的开发以及维护成本。

本发明一实施例的量测微电容的探针卡包含一基板以及一电容数字转换器。基板具有一第一表面以及一第二表面，其中基板的第一表面设有多个导电接点，第二表面设有多个探针以接触一待测物的多个测试接点，且多个探针与相对应的多个导电接点电性连接。电容数字转换器设置于基板的第一表面，且与相对应的多个导电接点电性连接，以量测待测物的至少一微电容并转换为一数字信号。

以下借由具体实施例配合所附的图式详加说明，当更容易了解本发明的目的、技术内容、特点及其所达成的功效。

【附图说明】

图1为一示意图，显示本发明一实施例的量测微电容的探针卡。

图2为一示意图，显示引线所形成的寄生电容。

【符号说明】

1 量测微电容的探针卡

11基板

111 第一表面

112 第二表面

113 导电接点

114 探针

12电容数字转换器

121、121a、121b 引线

D1引线中心的距离

D2引线间的距离

W 引线的线宽

【具体实施方式】

以下将详述本发明的各实施例，并配合图式作为例示。除了该多个详细说明之外，本发明亦可广泛地施行于其它的实施例中，任何所述实施例的轻易替代、修改、等效变化都包含在本发明的范围内，并以申请专利范围为准。在说明书的描述中，为了使读者对本发明有较完整的了解，提供了许多特定细节；然而，本发明可能在省略部分或全部特定细节的前提下，仍可实施。此外，众所周知的步骤或元件并未描述于细节中，以避免对本发明形成不必要的限制。图式中相同或类似的元件将以相同或类似符号来表示。特别注意的是，图式仅为示意之用，并非代表元件实际的尺寸或数量，有些细节可能未完全绘出，以求图式的简洁。

请参照图1，本发明的一实施例的量测微电容的探针卡1包含一基板11以及一电容数字转换器(Capacitance to Digital Converter)12。基板11具有一第一表面111以及一第二表面112。基板11的第一表面111设有多个导电接点113。基板11的第二表面112设有多个探针114。探针114用以与一待测物的多个测试接点接触，以与待测物电性连接。举例而言，待测物可为一晶圆。于一实施例中，待测物为一晶圆级微机电装置传感器，亦即晶圆上制作多个微机电装置传感器。可以理解的是，第二表面112的多个探针114与第一表面111相对应的多个导电接点113电性连接。举例而言，多个探针114经由基板11之内连接线路与相对应的多个导电接点113电性连接。于一实施例中，基板11可为测试厂商所提供的一标准基板。