[发明专利]量测微电容的探针卡在审
| 申请号： | 201610333891.1 | 申请日： | 2016-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN107402319A | 公开（公告）日： | 2017-11-28 |
| 发明（设计）人： | 陈岳宏 | 申请（专利权）人： | 苏州明皜传感科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;G01R27/26 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司31100 | 代理人： | 郭蔚 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市苏州工*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 量测微 电容 探针 | ||
【权利要求书】：
1.一种量测微电容的探针卡，其特征在于，包含：
一基板，其具有一第一表面以及一第二表面，其中该基板的该第一表面设有多个导电接点，该第二表面设有多个探针以接触一待测物的多个测试接点，且该多个探针与相对应的该多个导电接点电性连接；以及
一电容数字转换器，其设置于该基板的该第一表面，且与相对应的该多个导电接点电性连接，以量测该待测物的至少一微电容并转换为一数字信号。
2.如权利要求1所述的量测微电容的探针卡，其特征在于，该基板为一标准基板。
3.如权利要求1所述的量测微电容的探针卡，其特征在于，该电容数字转换器以多个引线与相对应的该多个导电接点电性连接。
4.如权利要求3所述的量测微电容的探针卡，其特征在于，该多个引线的长度小于或等于5cm。
5.如权利要求1所述的量测微电容的探针卡，其特征在于，该探针至该电容数字转换器的导电路径小于或等于5cm。
6.如权利要求1所述的量测微电容的探针卡，其特征在于，该电容数字转换器的量测范围为±4pF。
7.如权利要求1所述的量测微电容的探针卡，其特征在于，该电容数字转换器对寄生电容的容忍范围小于60pF。
8.如权利要求1所述的量测微电容的探针卡，其特征在于，该待测物为一晶圆。
9.如权利要求1所述的量测微电容的探针卡，其特征在于，该待测物为一晶圆级微机电装置传感器。
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