[发明专利]层体系以及用于制造层体系的涂覆方法

权利要求书

1.用于在基材(100)表面、特别是在成形工具表面上形成表面层的层体系，其特征在于，该层体系包括至少一个组成如下的第一表面层：

－(V₉₇Zr₃)_α(N)_β

－(V₉₇Zr₃)_α(N₅₀C₅₀)_β

－(V₉₅Ni₅)_α(N₆₅C₃₀O₅)_β

－(V₉₆Ce₄)_α(N₂₅C₆₅O₁₀)_β

－(V₉₇Zr₁Si₁B₁)_α(N)_β

其中层中所有原子的总和(α+β)=100 at%，其中α/β=1。

2.权利要求中1所述的层体系，其中在所述表面层与基材之间还提供了另一个部分层，该部分层特别是直接施加在所述基材表面上的粘合层。

3.权利要求2所述的层体系，其中所述部分层为组成为V₉₇Zr₃的粘合层。

4.权利要求2或3所述的层体系，其中所述部分层为组成为V₈₀Zr₂₀的粘合层。

5.权利要求2-4中任一项所述的层体系，其中所述部分层的组成为(Al₅₅Ti₄₅)_γN_δ，其中γ + δ = 100 at%且40 ≤ γ ≤ 60，其中优选地γ ≈ 50，且所述部分层特别是为粘合层，尤其是直接施加在基材上的粘合层。

6.权利要求2-5中任一项所述的层体系，其中所述部分层的组成为(Al₆₉Cr₂₉Mg₁Si₁)_γN_δ，其中γ + δ = 100 at%且40 ≤ γ ≤ 60，且优选地γ ≈ 50，其中所述部分层特别是为粘合层，尤其是直接施加在基材上的粘合层。

7.权利要求2-6中任一项所述的层体系，其中所述部分层的组成为(Al₆₀Cr₃₀Mg₅Si₅)_γN_δ，其中γ + δ = 100 at%且40 ≤ γ ≤ 60，且优选地γ ≈ 50，其中所述部分层特别是为粘合层，尤其是直接施加在基材上的粘合层。

8.权利要求2-7中任一项所述的层体系，其中所述部分层的组成为(Cr₉₁Ni₃Al₃Si₃)_γN_δ，其中γ + δ = 100 at%且40 ≤ γ ≤ 60，且优选地γ ≈ 50，其中所述部分层特别是为粘合层，尤其是直接施加在基材上的粘合层。

9.权利要求2-8中任一项所述的层体系，其中所述部分层为TiN部分层，特别是粘合层，尤其是直接施加在基材上的粘合层。

10.权利要求2-9中任一项所述的层体系，其中所述部分层为Cr部分层，特别是粘合层，尤其是直接施加在基材上的粘合层。

11.前面权利要求中任一项所述的层体系，其中所述层体系和/或部分层和/或表面层的HK 0.025硬度为1500-3500，特别是1900-3100，尤其是2100-2900。

12.前面权利要求中任一项所述的层体系，其中所述层体系和/或部分层和/或表面层的厚度在0.01μm-100μm之间，特别是在0.1μm-8μm之间，并优选地在0.2μm-7.5μm之间。