[发明专利]一种碳纳米管的制备方法有效
| 申请号： | 201610326216.6 | 申请日： | 2016-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN107381538B | 公开（公告）日： | 2019-10-25 |
| 发明（设计）人： | 张伟;吉小超;于鹤龙;王红美;杜军;汪勇 | 申请（专利权）人： | 北京睿曼科技有限公司;河北京津冀再制造产业技术研究有限公司;中国人民解放军装甲兵工程学院 |
| 主分类号： | C01B32/162 | 分类号： | C01B32/162 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 赵青朵 |
| 地址： | 100043 北京市石景山*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 制备 方法 | ||
1.一种碳纳米管的制备方法，包括以下步骤：
A)，将金属网罩置于PECVD设备的腔体中负极板上，在所述金属网罩上方放置叠加的两块催化剂金属板；
B)，将所述PEVCD设备的腔体加热并向其中通入反应气体，接通电源，利用金属板间的空心阴极效应溅射生成催化剂金属颗粒；
C)，将所述PEVCD设备的腔体加热后通入碳源和载气，接通电源，反应后得到碳纳米管；
步骤A)中所述反应气体选自氢气和氩气中的一种或两种，所述反应气体的流量为50～100sccm，所述电源的功率为500～1000W。
2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述两块催化剂金属板之间的距离为1～5cm，所述催化剂金属板的材质为铁、钴、镍或复合金属材料，所述催化剂金属板表面设置有镂空图案。
3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述催化剂金属颗粒的粒径为1～50nm。
4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤C)中所述碳源包括甲烷、乙醇、乙炔和正丁烷中的一种或多种，所述碳源的流量为5～50sccm。
5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述载气选自氢气、氮气和氩气中的一种或多种，所述载气的流量为100～150sccm。
6.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤C)中所述反应的温度为350～500℃，所述电源的功率为10～100W，所述反应的时间为10～100min。
7.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述金属网罩为圆筒状不锈钢网罩或圆筒状铜网罩。
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