[发明专利]一种用于准分子激光器的可见光导向装置

权利要求书

1.一种用于准分子激光器的可见光导向装置，所述准分子激光器包含MO腔、PA腔和PA腔光路转置单元，PA腔光路转置单元用于引导MO腔输出的种子光传输，使种子光进入PA腔进行放大，同时透射来自PA腔的输出激光，其特征在于，所述可见光导向装置包括可见光激光器和可见光光路转置单元，其中，

所述可见光激光器用于产生可见光波段的激光；

所述可见光光路转置单元用于将所述可见光激光器产生的可见光波段的激光引导至与所述准分子激光共轴输出。

2.如权利要求1所述的用于准分子激光器的可见光导向装置，其特征在于，

所述PA腔光路转置单元包括PA腔输出镜；

所述可见光光路转置单元包括反射镜组，所述反射镜组对于所述可见光激光器产生的可见光具有高反射率，用于将所述可见光激光器产生的可见光引导至PA腔输出镜的反射输出面；

所述PA腔输出镜透射来自PA腔的输出激光，同时反射来自反射镜组的可见光，所述透射的输出激光和反射的可见光共轴输出。

3.如权利要求2所述的用于准分子激光器的可见光导向装置，其特征在于，所述PA腔光路转置单元和可见光光路转置单元还共用一个狭缝，输出激光和可见光均通过该狭缝输出。

4.如权利要求3所述的用于准分子激光器的可见光导向装置，其特征在于，所述狭缝为两个小孔光阑。

5.如权利要求2所述的用于准分子激光器的可见光导向装置，其特征在于，所述PA腔输出镜为采用CaF₂基底制成。

6.如权利要求2所述的用于准分子激光器的可见光导向装置，其特征在于，所述反射镜组包括三个45°入射高反射镜。

7.如权利要求6所述的用于准分子激光器的可见光导向装置，其特征在于，所述三个45°入射高反射镜为第一反射镜、第二反射镜和第三反射镜，第一反射镜在PA腔光路转置单元的外部，第二反射镜和第三反射镜在PA腔光路转置单元的内部。

8.如权利要求7所述的用于准分子激光器的可见光导向装置，其特征在于，第二反射镜和第三反射镜为可调谐元件。

9.如权利要求2所述的用于准分子激光器的可见光导向装置，其特征在于，所述PA腔光路转置具有定位装置，用于定位输出激光与可见光使之保持共轴。

10.如权利要求1至9中任一项所述的用于准分子激光器的可见光导向装置，其特征在于，所述可见光激光器为He-Ne激光器。