[发明专利]光纤预制松散体沉积装置及其沉积方法

说明书

技术领域

本发明属于光纤预制棒制造技术领域，尤其涉及一种光纤预制松散体沉积装置及其 沉积方法。

背景技术

现有光纤预制棒制造方法，第一步：多采用轴向气相沉积法(VAD)生产芯棒，第 二步：采用外部气相沉积法(OVD)生产外包层，通过这两步法生产光纤预制棒。众所 周知，光纤预制的成本70％由包层部分决定，OVD方法生产成本和生产效率对光纤预制 棒的成本有很大的影响。

目前OVD方法生产光纤预制棒松散体的工艺，一般是单组喷灯往返沉积，这种方法 沉积喷灯数量不超过3个，如果仅在原有设备增加喷灯个数，单组喷灯往返沉积法会增 加光纤预制棒松散体锥形部分长度减少了光纤预制棒松散的有效长度。

图1为现有单组喷灯光纤预制松散体沉积装置的结构示意图，本沉积状包括：箱体 1、位于箱体1内的松散体2、固定该松散体2的卡盘3、与卡盘3连接的传感器4、位 于箱体1的3个喷灯5、固定喷灯5的喷灯载台6、固定该喷灯载台6的喷灯升降电机7、 固定松散体1的旋转电机8、以及喷灯平移驱动电机9。

将1根目标重量均100kg的靶棒安装在箱体1内卡盘3上，每个喷灯流量调整为平均 CH₄:72slpm；SiCl₄：42.7g/minO2:149slpm，沉积启动后，喷灯平移电机9驱动喷灯 载台6上的喷灯5移动，旋转电机8驱动靶棒旋转，单组3喷灯不断往返移动将SiO₂沉积到靶棒上形成松散体2，沉积过程中传感器4时时记录松散体的沉积重量并和目标 重量进行比较，重沉积重量达到目示重量时线给出工程结束指示，随着松散体2的外径 的不断增加，喷灯升降电机7驱动载台使喷灯向远离松散的方向移动，沉积重量达到目 标重量后工程结束。

经测量松散体的沉积主要参数为，如下表1：

棒号 沉积速度g/min 原料利用率％ 密度g/cm³燃气消耗m³1 30 65 0.58 960

表1

现在技术降低生产成本提高生产效率的空间无法通过增加喷灯来完成。

发明内容

本发明的目的在于提供一种提高生产效率和沉积速度的光纤预制松散体沉积装置 及其沉积方法。