[发明专利]光纤预制松散体沉积装置及其沉积方法

权利要求书

1.一种光纤预制松散体沉积装置，其特征在于，其包括：箱体、固定该箱体内的R ×C矩阵分布喷灯、与该R×C矩阵分布喷灯连接的喷灯平移电机和喷灯平移载台、沉积 C个松散体的C根靶棒、与该C根靶棒对应连接的C个引杆、与该C个引杆对应连接的 C个传感器、与该C个引杆对应连接的C个旋转电机、固定该C个旋转电机的升降载台、 以及与该升降载台连接的升降电机；其中，R和C均为自然数；设定R×C矩阵分布喷灯 位于第一方向和与该第一方向垂直的第二方向矩阵排列，设定位于第一方向的称为第一 喷灯，设定位于与第二方向的称为第二喷灯；位于第一方向的第一喷灯具有C排，每排 设有R个第一喷灯；位于第二方向的第二喷灯具有R排，每排设有C个第二喷灯；所述 C根靶棒沿第一方向延伸设置且位于对应的第一喷灯的上方，且每个靶棒的延伸方向与 第一方向的每排第一喷灯对应设置。

2.根据权利要求1所述的光纤预制松散体沉积装置，其特征在于：4≤R≤12，1 ≤C≤6，且R≥C。

3.根据权利要求1所述的光纤预制松散体沉积装置，其特征在于：所述R×C矩阵 分布喷灯设有固定该R×C个喷灯的支撑板，每个喷灯的一端固定在该支撑板上，每个 喷灯的另一端固定在箱体内。

4.根据权利要求3所述的光纤预制松散体沉积装置，其特征在于：所述支撑板均 与所述喷灯平移电机和喷灯平移载台固定连接。

5.根据权利要求1所述的光纤预制松散体沉积装置，其特征在于：每个引杆的一 端穿过升降载台后连接对应的传感器，每个引杆的另一端固定连接对应的靶棒。

6.根据权利要求1-5任一所述光纤预制松散体沉积方法，其特征在于，包括如下 步骤：

第一步：R×C矩阵分布喷灯的固定在箱体内；

第二步：C根靶棒在第一方向上分别安装在对应的引杆上；

第三步：带有靶棒的C个引杆、传感器和旋转电机安装在升降载台上；

第四步：C个旋转电机通过引杆驱动对应的靶棒旋转，R×C矩阵分布喷灯不断将SiO₂沉积到靶棒上形成对应的松散体；

第五步：沉积过程中，传感器记录对应的松散体的沉积重量；

第六步：随着松散体外径的不断增加，喷灯平移电机通过喷灯平移载台驱动R×C 矩阵分布喷灯不断远离松散体，使喷灯到沉积点的距离基本保持恒定。

7.根据权利要求6所述光纤预制松散体沉积方法，其特征在于，还包括如下步骤：

第七步：传感器对沉积重量进行在线测量并进行C个松散体的沉积进度进行比较。

8.根据权利要求7所述光纤预制松散体沉积方法，其特征在于，还包括如下步骤：

第八步：当传感器测量C个松散体的重量达到目标重量时，本沉积方法自动结束结。

9.根据权利要求7所述光纤预制松散体沉积方法，其特征在于，还包括如下步骤：

传感器根据进度差进行R×C矩阵分布喷灯原料流量的调节，调节方式为沉积快的 原料供应减少，使C个松散体同时达到目标重量。

10.根据权利要求6所述光纤预制松散体沉积方法，其特征在于，C个靶棒上沉积 的松散体的目标重量差别不超过±0.5％。