[发明专利]一种低温下制备钽表面钨功能涂层的方法有效

专利信息
申请号: 201610272362.5 申请日: 2016-04-28
公开(公告)号: CN105714243B 公开(公告)日: 2019-05-28
发明(设计)人: 张厚安;麻季冬;廉冀琼;古思勇;付明;陈莹 申请(专利权)人: 厦门理工学院
主分类号: C23C10/36 分类号: C23C10/36
代理公司: 厦门智慧呈睿知识产权代理事务所(普通合伙) 35222 代理人: 魏思凡
地址: 361024 福*** 国省代码: 福建;35
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摘要:
搜索关键词: 一种 低温 制备 表面 功能 涂层 方法
【说明书】:

一种低温下制备钽表面钨功能涂层的方法,包括以下步骤:S1,将基体表面抛光处理,所述基体包括钽、钽合金或其组合;S2,将抛光后的基体埋入包埋渗剂中反应,其中包埋温度为240‑280℃,保温时间为1‑8h,所述包埋渗剂包括均匀分散的WCl6粉、活化剂和Al2O3粉,且所述包埋渗剂中WCl6粉的比例为30‑50wt.%;S3,保温结束后,清洗包埋后的基体并真空干燥。本发明采用包埋法,基体与包埋渗剂在240‑280℃发生扩散反应,从而制得钨功能涂层。基体与钨功能涂层结合好,具有功能涂层均匀致密的优点,且无需采用高温或加压的方法获得涂层,降低了对设备的要求,适合规模化生产。

技术领域

本发明涉及制备涂层的技术领域,尤其涉及一种低温下制备钽表面钨功能涂层的方法。

背景技术

钽具有高密度、高熔点、耐腐蚀、优异的高温强度、良好的加工性和可焊性及低的塑/脆转变温度等优良性能而广泛应用于电子、化工、武器等多种行业。但钽金属价格昂贵,在某些气氛环境中抗腐蚀性能较差。金属钨具有非常高的熔点、沸点,极高的强度、硬度,很小的电子逸出功及很好的化学稳定性。在钽基体材料表面制备金属钨镀层,可广泛用作高温工作条件下耐磨、耐蚀和热屏蔽材料。并且在钽中添加钨可以形成钽钨固溶体型合金,钨在钽钨合金中起到了很好的固溶强化作用,可提高其拉伸强度和应变硬化率。

有研究者通过真空电子束焊接并结合热等静压工艺形成一定厚度的Ta-W扩散层,但此制备温度高、工艺繁琐,存在成本高、能源消耗高的问题。CVD 法制备纯钨涂层是在常压或低压条件下,以氢气和钨的卤化物或羰基物气体为原料,在特定温度条件的基材表面通过相互间的还原反应最终获得钨涂层,采用CVD 工艺对零件进行钨涂层的制备可直接的获得高致密度,高纯度的钨涂层,但是钽本身吸收氢会变脆,容易断裂,此方法不适用于钽表面钨涂层的制备。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术的缺点,提供一种采用包埋法的低温下制备钽表面钨功能涂层的方法。

为解决上述技术问题,本发明采用了以下技术措施:

一种低温下制备钽表面钨功能涂层的方法,包括以下步骤:

S1,将基体表面抛光处理,所述基体包括钽、钽合金或其组合;

S2,将抛光后的基体埋入包埋渗剂中反应,其中包埋温度为240-280℃,保温时间为1-8h,所述包埋渗剂包括均匀分散的WCl6粉、活化剂和Al2O3粉,且所述包埋渗剂中WCl6粉的比例为30-50wt.%;

S3,保温结束后,清洗包埋后的基体并真空干燥。

本发明还可以通过以下技术措施进一步完善:

作为进一步改进,所述活化剂的比例为10-15wt.%,所述Al2O3粉的比例为35-60wt.%。

作为进一步改进,所述活化剂包括NaF粉、NH4Cl粉或其混合物。

作为进一步改进,所述将基体表面抛光处理的步骤包括:

S11,将所述基体加热升温到一定温度,将抛光蜡均匀涂抹在基体上;

S12,放置一段时间,使用脱脂棉处理基体;以及

S13,将基体放入抛光机中进行抛光,其中,抛光过程中使用碱性抛光液,时间为5-15min。

作为进一步改进,在步骤S13之后,进一步包括步骤S14,将抛光后的基体放入无水乙醇中进行超声波处理时间为5-30min。

作为进一步改进,所述包埋渗剂中WCl6粉的比例为35-45wt.% ,所述活化剂的比例为12-15wt.%,所述Al2O3粉的比例为40-53 wt.%。

作为进一步改进,所述清洗包埋后的基体并真空干燥的步骤包括:

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