[发明专利]双频电感耦合射频等离子体喷射沉积金刚石的方法

权利要求书

1.一种双频电感耦合射频等离子体喷射沉积金刚石的方法，在双频电感耦合射频放电等离子体喷射化学气相沉积系统中进行；其特征在于，

采用氩气，氢气和甲烷混合气体为等离子体源气体，在混合气体中，氩气，氢气的流量分别为1-5slm，0.2-1slm，甲烷流量与氢气的流量比为1％-8％,；射频电感耦合放电采用双频率激发和维持等离子体，总激发功率为1-10KW，高频功率为500-2000W，低频功率为2500-10000W，高频率与低频率的频率比在3～4范围；激发出的等离子体炬以等离子体运动轴线与衬底法线夹角为60°～90°的掠射角掠过衬底表面；沉积系统中的背底真空为10^-2-10^-1Pa，当工作气体通入后，首先高频放电激发等离子体起辉，然后升高气压至预定压强5000-15000Pa，打开低频电源，加热维持等离子体；衬底以机械镶嵌或者真空钎焊的方式固定在具有水冷功能的基座上，衬底的尺寸为1-6cm²，衬底边缘距等离子体发生器喷口的距离为0.5-3.0cm，沉积过程中，衬底温度保持在850℃～1100℃之间。