[发明专利]一种基板真空干燥装置

权利要求书

1.一种基板真空干燥装置，包括腔室，所述腔室包括用于供基板出入腔室的腔门，所述腔室还联通气体管道，其特征在于，所述腔室内设有支撑板，用于承载基板。

2.根据权利要求1所述的基板真空干燥装置，其特征在于，所述气体管道包括抽气管道和通气管道，所述抽气管道用于将腔室内抽真空，所述通气管道用于给腔室通入气体。

3.根据权利要求1所述的基板真空干燥装置，其特征在于，所述支撑板连接第一驱动器，所述第一驱动器用于驱动支撑板移动。

4.根据权利要求3所述的基板真空干燥装置，其特征在于，所述第一驱动器为气缸。

5.根据权利要求3所述的基板真空干燥装置，其特征在于，所述支撑板上设有孔，所述孔用于容纳连结在基板上的支撑杆。

6.根据权利要求1所述的基板真空干燥装置，其特征在于，所述腔室内部对应气体管道的管口的位置处设有挡板，所述挡板的面积大于腔室内部气体管道的管口的面积。

7.根据权利要求6所述的基板真空干燥装置，其特征在于，所述气体管道联通至腔室的上壁，所述挡板与支撑板均平行于腔室的上壁设置，支撑板比挡板更远离腔室的上壁，且挡板与支撑板和上壁均不接触。

8.根据权利要求6所述的基板真空干燥装置，其特征在于，所述挡板与支撑板的面积均大于基板的面积。

9.根据权利要求6所述的基板真空干燥装置，其特征在于，所述挡板连接第二驱动器，用于驱动挡板移动。